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[導(dǎo)讀]目前廣泛使用的攝像器件是CCD型攝像器件。CCD于1970年由貝爾實驗室發(fā)明[82],此后關(guān)于CCD的研究蓬勃發(fā)展,CCD最小像素尺寸由1972年的40um減小到了1995年的5 gm,像素單元也從最早的不足2000增加到兩千六百多萬[83]。

目前廣泛使用的攝像器件CCD型攝像器件。CCD于1970年由貝爾實驗室發(fā)明[82],此后關(guān)于CCD的研究蓬勃發(fā)展,CCD最小像素尺寸由1972年的40um減小到了1995年的5 gm,像素單元也從最早的不足2000增加到兩千六百多萬[83]。CCD型攝像器件包括三個部分:進行光電轉(zhuǎn)換光電探測器陣列部分、移位寄存器電荷轉(zhuǎn)移部分、MOSFET源跟隨輸出部分。光電轉(zhuǎn)換部分利用普通PN二極管就可實現(xiàn),其中最重要的、也是CCD區(qū)別于其他攝像器件的部分是移位寄存器電荷轉(zhuǎn)移部分。CCD電荷轉(zhuǎn)移由一系列緊密排列的MOS電容器組成,如圖1(a)所示。當(dāng)在某個柵極上加正電壓時,就會在柵極底下形成電子勢阱,信號電荷就存在勢阱中。

常見的CCD電荷轉(zhuǎn)移為三相時鐘脈沖結(jié)構(gòu),每三個柵為一組間隔排列,每相隔兩個柵的柵電極使用同一時鐘脈沖,時鐘脈沖如圖1(c)所示。在幻時刻,四為高電位,其他兩相脈沖均為低電位,這時在1柵極下面形成耗盡區(qū),外部所注入的電子將被聚集在這個勢阱中。在t2時刻,Φ從高電位向低電位轉(zhuǎn)變,Φ從低電位向高電位轉(zhuǎn)變,則1和2柵極下面都形成電子勢阱。由于各個柵極相互靠得很近,因此它們的勢阱相互重疊。隨著Φ1電位降低和@電位上升,1柵極勢阱逐漸變淺,2柵極的勢阱逐漸加深,因此1柵極勢阱中電子就逐漸流向了2柵極的勢阱。在兔時刻電子全部轉(zhuǎn)移到了2柵極的勢阱。同樣地,在勤時刻@從高電位向低電位轉(zhuǎn)變,鯤從低電位向高電位轉(zhuǎn)變,則2和3柵極下面都形成電子勢阱,隨著鯤電位降低和CD3電位上升,2柵極勢阱中電子就逐漸流向了2柵極的勢阱。在t3時刻電子全部轉(zhuǎn)移到了3柵極的勢阱。這樣各個柵極勢阱電荷就逐個被轉(zhuǎn)移出去成為輸出信號,這就是CCD轉(zhuǎn)移的基本原理。

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