系統(tǒng)架構(gòu)

最容易想到的多站點(diǎn)測試儀是迷你測 試儀系統(tǒng)。每臺迷你測試儀包含了在一個(gè)站點(diǎn)上運(yùn)行一系列測試所需的全部資源。 圖3示出了兩臺迷你測試儀組成的系統(tǒng)。每臺迷你測試儀含有幾個(gè)模擬源-測量單 元(SMU)、一個(gè)測試定序儀/控制器，和 一個(gè)開關(guān)矩陣選件。獨(dú)立控制器能讓每臺 迷你測試儀的操作獨(dú)立于其它迷你測試儀 和系統(tǒng)控制器。這樣，系統(tǒng)控制器不用選通測試的運(yùn)行，而是啟動(dòng)測試序列并整理 產(chǎn)生的測試數(shù)據(jù)。 吉時(shí)利的ACS集成測試系統(tǒng)通過吉時(shí) 利2600系列數(shù)字源表支持迷你測試儀架 構(gòu)。通過使用TSP-LinkTM 可擴(kuò)展虛擬背板專利技術(shù)和嵌入式腳本處理，可以將幾組 2600系列裝置組成迷你測試儀。 迷你測試儀的分布式本質(zhì)能極大提高 吞吐量。使用真正的并行測試，完全測試 圖2中的4個(gè)FET測試站的耗時(shí)比順序測試儀完成4個(gè)FET第一項(xiàng)測試的用時(shí)短(如圖 4所示)。

圖3. 并行測試系統(tǒng)架構(gòu)

圖4. 順序測試和并行測試的比較

易于使用

在執(zhí)行并行測試工程時(shí)，測試工程師要面臨幾項(xiàng)潛在挑戰(zhàn)。 其中包括在全自動(dòng)探測器環(huán)境中建立測試序列并執(zhí)行測試。吉時(shí)利的自動(dòng)特性分析套件(ACS)軟件(圖5)通過提供以下內(nèi) 容的直觀用戶界面應(yīng)對這些挑戰(zhàn)： • 晶圓說明 • 測試設(shè)置 • 探測器控制 • 自動(dòng)化 • 匯總報(bào)告 ACS實(shí)現(xiàn)了晶匣級和晶圓級自動(dòng)化，所以能對全部晶匣的晶 圓進(jìn)行高吞吐量并行測試。ACS還包括實(shí)時(shí)分級裝倉圖和繪制功能(圖6)。

圖5. ACS測試設(shè)置用戶界面的并行測試特性使2600系列的編程就像點(diǎn)、 擊和輸入測試參數(shù)那樣簡單。

圖6. ACS自動(dòng)監(jiān)控屏實(shí)時(shí)顯示用色碼表示的分級結(jié)果。

結(jié)論

面市時(shí)間延長和測試成本壓力增大意味著測試工程師必須用 更少的投入做更多的事。憑借吉時(shí)利久經(jīng)驗(yàn)證的儀器和測量，ACS 集成測試系統(tǒng)填補(bǔ)了基于交互式實(shí)驗(yàn)室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試 工具之間的空白。 圖1所示的ACS集成測試系統(tǒng)特別適于管芯分選的多站點(diǎn)并行測試、高級可靠性和其它高吞吐量應(yīng)用。2600系列儀器利用 嵌入式測試腳本處理實(shí)現(xiàn)的分布式測試排序性能具有高速并行測試能力。