直接將ACS安裝至4200-SCS的嵌入式PC中能讓功能強(qiáng)大 的ACS集成測試系統(tǒng)兼有兩者優(yōu)點(diǎn)。小尺寸但功能強(qiáng)大的 4200-SCS測量硬件結(jié)合了ACS軟件的全自動(dòng)化特性，能在極小的封裝中實(shí)現(xiàn)令人印象深刻的測試功能和自動(dòng)化。使用案例非常廣并且包括：

• 技術(shù)開發(fā)：當(dāng)技術(shù)開發(fā)工程師需要進(jìn)行各種過程分割時(shí)， 用以確定過程的操作困境并從每片晶圓和多片晶圓的測 試結(jié)構(gòu)中獲取參數(shù)數(shù)據(jù)。

• 參數(shù)功能測試：當(dāng)需要在多片晶圓上的多個(gè)器件上進(jìn)行 無人干預(yù)的參數(shù)測試但高吞吐量相對(duì)于測試成本和易用 性而言是次要時(shí)。

• 定制建模工具：當(dāng)建模工具需要很多種器件的參數(shù)測量 結(jié)果，然后將結(jié)果移植至建模軟件，進(jìn)行分析并建立器 件軟件模型時(shí)。 ACS能完全訪問和控制4200-SCS上的最新脈沖和PIV軟 /硬件，包括吉時(shí)利開發(fā)(和獲專利權(quán))的軟件，例如4200 -PIV-A包。這能讓系統(tǒng)執(zhí)行全量程直流、CV和脈沖源和測 量。此外，為擴(kuò)展測試方案功能并滿足測試需要，此系統(tǒng)可以輕松地增配由ACS軟件控制的CV儀表、開關(guān)矩陣或其 它外部硬件。

精密實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和全自動(dòng)功能降低測試成本 在成本較低的臺(tái)式測試儀(但具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的測試和測量能力)中加入重要的自動(dòng)化功能便能明顯降低測試成本。ACS系統(tǒng)非常適于 能產(chǎn)生大量數(shù)據(jù)的應(yīng)用，但不是對(duì)吞吐量敏感應(yīng)用，例如大容量最終測試。通過直觀的設(shè)置和操作簡化操作人員的任務(wù)，并且最小化 測試過程的人工干預(yù)還能顯著降低測試成本。最小配置如圖1所示。

圖1. 4200-SCS運(yùn)行ACS軟件和自動(dòng)探測器便足以執(zhí)行多種直流和脈沖參數(shù) 自動(dòng)化測試

結(jié)論

面市時(shí)間延長和測試成本壓力增大意味著測試工程師必須用更 少的投入做更多的事。利用吉時(shí)利久經(jīng)驗(yàn)證的儀器和測量，ACS集 成測試系統(tǒng)填補(bǔ)了基于交互式實(shí)驗(yàn)室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試工具 之間的空白。 在這種情況下，讓ACS運(yùn)行在4200-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)中是 將實(shí)驗(yàn)室級(jí)參數(shù)測量提升至更高級(jí)的自動(dòng)化并降低測試成本的一種理想方法。運(yùn)行高質(zhì)量自動(dòng)測試的小尺寸集成測試儀器能幫測試工 程師在測試過程中以最短設(shè)置時(shí)間和最少人工干預(yù)完成大量的測試 和數(shù)據(jù)——采用非常經(jīng)濟(jì)有效的封裝。強(qiáng)大、靈活的分析、演示和 報(bào)告工具簡化了測試后續(xù)工作。