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[導(dǎo)讀]   現(xiàn)按光柵讀數(shù)頭的光路布局特點(diǎn)重點(diǎn)介紹直讀式和相位式兩種光柵讀數(shù)頭。   直讀式光柵讀數(shù)頭是指利用垂直照明光束獲得莫爾條紋信號的讀數(shù)頭,也稱為垂直入射式光柵讀數(shù)頭。圖中為兩種典型的光路布

  現(xiàn)按光柵讀數(shù)頭的光路布局特點(diǎn)重點(diǎn)介紹直讀式和相位式兩種光柵讀數(shù)頭。

  直讀式光柵讀數(shù)頭是指利用垂直照明光束獲得莫爾條紋信號的讀數(shù)頭,也稱為垂直入射式光柵讀數(shù)頭。圖中為兩種典型的光路布局形式。其中圖1(a)為透射式讀數(shù)頭,圖1(b)為反射式讀數(shù)頭。

  此類讀數(shù)頭以硅光電池接收系統(tǒng)為代表。由于它結(jié)構(gòu)簡單和緊湊,并且硅光電池性能穩(wěn)定,安裝方便,因此得到廣泛采用。

  直讀式讀數(shù)頭適用于柵距大于0.01mm的照相黑白光柵(即振幅光柵)。對于25~100線對/mm的黑白光柵,主光柵和指示光柵之間的間隙d可以是小間隙工作[d=(3~5)ω,也可以大間隙工作(d=ω2/λ)。對于比25線對/mm還少的光柵,應(yīng)該根據(jù)所要求的光電信號的波形來調(diào)整間隙。增加光柵間隙并調(diào)寬光束可以使輸出波形更接近正弦。

  1一光源2一聚光鏡 3一物鏡 口一光電池5一主光柵 6一指示光柵 7一場鏡 8一反光鏡

  圖1 直讀式光柵讀數(shù)頭

  近年來,在鋼帶或鋼基板上制出的反射光柵的應(yīng)用日益增多,因為反射式鋼帶光柵具有堅固耐用、線膨脹系數(shù)與工件相近等優(yōu)點(diǎn)。對于反射光柵,應(yīng)采用圖1(b)形式的光路布局。

  分光式讀數(shù)頭適用于相位光柵系統(tǒng)。其典型的光路如圖2所示?,F(xiàn)以圖2(a)中的透射式光路為例,說明其工作原理。從點(diǎn)(或線)光源1發(fā)出的光經(jīng)由聚光鏡2形成平行光照明主光柵3和指示光柵4,由兩塊光柵產(chǎn)生多級衍射。如果采用的是雙級閃耀光柵,則從主光柵出射的是0級和1級衍射光束,再經(jīng)指示光柵的衍射,得到(0,1),(0,0)不口(1,0),(1,1)四個波陣面。由聚光鏡5和狹縫6會聚了相互平行的(0,1)、(1,0)這兩個1級組波陣面,并由光電管7接收,轉(zhuǎn)換成光柵電信號。

  1一光源 2一聚光鏡 3一主光棚 6一狹縫 7一光電管8一析光棱鏡

  圖2 分光式讀數(shù)頭

  狹縫(光闌)6的作用是擋住除(0,1)和(1,0)夕卜的其他各級衍射,以提高輸出信號的反差。為了克服兩光柵問隙變化而造成的測量誤差,應(yīng)采用最小偏角布局光路,即應(yīng)令-β=a。由于衍射的影響可以通過光闌而大大削弱,因此這類讀數(shù)頭可采用較大的光柵間隙。

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