[導讀]
儀器操作中繁瑣的編程工作以及神秘的種種細節(jié)會分散工作繁重的研究者的精力。許多電特性測量工具都極為復雜,而且它們的數(shù)據(jù)傳輸機制極為冗瑣,需要大容量的存儲介質(zhì)。圖形分析所花費的時間也過長。
儀器操作中繁瑣的編程工作以及神秘的種種細節(jié)會分散工作繁重的研究者的精力。許多電特性測量工具都極為復雜,而且它們的數(shù)據(jù)傳輸機制極為冗瑣,需要大容量的存儲介質(zhì)。圖形分析所花費的時間也過長。學習和編程設定的工作會占用本來應該用于研究的時間。
儀器的用戶友好性具有重要意義,無論對研究者還是那些選取新的發(fā)現(xiàn)并將其轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品的設計工程師和制造專業(yè)人員來說,都是如此。最新型的電氣測量系統(tǒng)應當基于PC,支持人們熟知的Windows操作系統(tǒng)所特有的點-擊、剪切-粘貼和拖-放功能。這些系統(tǒng)功能可以縮短學習曲線,從而讓測試的建立、執(zhí)行和分析在時間上更富有效率。
第三個測試方面的挑戰(zhàn)是靈敏度和分辨率。儀器的靈敏度一般是由其最低的測量范圍除以分辨率來量度的。分辨率是可以觀察到的信號的最小比例。圖1所示的曲線證明了這一指標的重要意義,圖中示出了納米級金屬-氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的柵極漏電流的測量結(jié)果。所測量到的電流的范圍從30fA變化到約170fA。這一測量需要的電流靈敏100aA(100E-18A)。無論何種情況,所要求的靈敏度都取決于應用。
圖1:納米MOSFET的柵極漏電流范圍是30fA至約170fA





