MEMS陀螺儀即硅微機(jī)電陀螺儀，絕大多數(shù)的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。MEMS (Micro-Electro-MechaNIcal Systems)是指集機(jī)械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。

MEMS陀螺儀的重要參數(shù)包括：分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測(cè)量范圍。這些參數(shù)是評(píng)判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標(biāo)志，同時(shí)也決定陀螺儀的應(yīng)用環(huán)境。

分辨率是指陀螺儀能檢測(cè)的最小角速度，該參數(shù)與零角速度輸出其實(shí)是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個(gè)參數(shù)主要說(shuō)明了該陀螺儀的內(nèi)部性能和抗干擾能力。對(duì)使用者而言，靈敏度更具有實(shí)際的選擇意義。測(cè)量范圍是指陀螺儀能夠測(cè)量的最大角速度。不同的應(yīng)用場(chǎng)合對(duì)陀螺儀的各種性能指標(biāo)有不同的要求。

MEMS陀螺儀主要用于測(cè)量汽車的旋轉(zhuǎn)速度(轉(zhuǎn)彎或者打滾)，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。所謂主動(dòng)控制系統(tǒng)就是一旦發(fā)現(xiàn)汽車的狀態(tài)異常，系統(tǒng)在車禍尚未發(fā)生時(shí)及時(shí)糾正這個(gè)異常狀態(tài)或者正確應(yīng)對(duì)個(gè)異常狀態(tài)以阻止車禍的發(fā)生。比如在轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)陀螺儀測(cè)量角速度就知道方向盤打得過(guò)多還是不夠，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)膭x車以防止汽車脫離車道。現(xiàn)在這種系統(tǒng)主要安裝于高端汽車上。

目前在汽車MEMS市場(chǎng)，壓力計(jì)和加速度計(jì)還是占較大份額，但是隨著對(duì)汽車安全性能要求越來(lái)越高，尤其是在北美和歐洲穩(wěn)定性主控系統(tǒng)的安裝率節(jié)節(jié)攀升，陀螺儀的市場(chǎng)增長(zhǎng)率明顯比前兩類要快得多。