采用恒流法，可以使用靜電計電壓表和電流源或者只使用靜電計歐姆計來測量高電阻。也可以使用具有高輸入阻抗的電壓表和微電流源的SMU來進行測量。使用帶有分立的電流源的靜電計電壓表或SMU時，用戶能夠進行四線測量并控制流過樣品的電流。靜電計歐姆計依據(jù)測量的量程，在規(guī)定的電流下，進行兩線電阻測量。

使用靜電計電壓表和外部電流源
恒流源法的基本電路配置如圖2-31所示。電流源的電流（I）流過未知電阻（R），并由靜電計電壓表測量其電壓降（V）。用這種方法可以測量高達1012Ω的電阻。雖然基本方法看起 來非常簡單，但是必須采取一些預防性的措施。電壓表的輸入阻抗與源電阻相比必須足夠高，以便使負載誤差保持在可以接受的水平。通常靜電計電壓表的輸入阻抗大約為1014Ω。而且，電流源的輸出電阻必須比未知電阻大得多，才能使測量為線性。樣品兩端的電壓決定于樣品的電阻，因此在使用恒流法時，難于考慮電壓系數(shù)的問題。如果關心電壓系數(shù)，最好使用恒壓法。靜電計電壓表和分離的電流源可以在采用四點探頭法或van der Pauw法測量半導體材料的高電阻率時使用。