漏流是施加電壓時(shí)通過(guò)(泄露)電阻的誤差電流。當(dāng)DUT的阻抗與測(cè)試電路中絕緣體的阻抗相當(dāng)時(shí)，該誤差電流就會(huì)成為問(wèn)題。為減小漏流，在測(cè)試電流中采用高質(zhì)量的絕緣體、降低測(cè)試實(shí)驗(yàn)室的濕度，并采用保護(hù)。
保護(hù)是由一個(gè)低阻源驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)體，其輸出為或接近高阻端子的電勢(shì)。保護(hù)端子用于保護(hù)測(cè)試夾具和電纜絕緣電阻和電容。保護(hù)是三軸連接器/電纜的芯屏蔽，如圖10所示。


圖10. 4200三軸連接器/電纜的導(dǎo)體
請(qǐng)勿混淆保護(hù)和屏蔽。屏蔽通常意味著采用金屬護(hù)欄防止靜電干擾影響高阻電路。保護(hù)則意味著使用增加的低阻導(dǎo)體，將其維持在于高阻電路相同的電勢(shì)，它將攔截任何干擾電壓或電流。保護(hù)不一定提供屏蔽。下圖
為保護(hù)的兩個(gè)例子：1)利用保護(hù)降低測(cè)試夾具導(dǎo)致的漏流，而2)則利用保護(hù)降低由于電纜連接產(chǎn)生的漏流。
圖11所示為保護(hù)消除可能會(huì)通過(guò)測(cè)試夾具內(nèi)隔離絕緣體的原理。在圖11a中，漏流(IL)通過(guò)隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來(lái)自于DUT (IDUT)，然后被SMU安培計(jì)測(cè)得(IM)，對(duì)小電流測(cè)量的準(zhǔn)確度造成不利影響。


圖11.利用保護(hù)減小測(cè)試夾具中的漏流
在圖11b中，金屬安裝板被連接至SMU的保護(hù)端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(shì)(0V壓降)，所以在隔離絕緣體中就不會(huì)有漏流影響測(cè)量準(zhǔn)確度。由于金屬安裝板將處于保護(hù)電勢(shì)，所以為安全起見(jiàn)，金屬屏蔽必須連接至地。