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[導讀]中國半導體設備、材料、技術等多個方面,仍被海外“卡脖子”。好在,我國在刻蝕機領域已經(jīng)實現(xiàn)突破,據(jù)IC Insights數(shù)據(jù)顯示,我國刻蝕設備的國產(chǎn)化率在20%以上,是我國最具優(yōu)勢的半導體設備。

中國半導體設備、材料、技術等多個方面,仍被海外“卡脖子”。好在,我國在刻蝕機領域已經(jīng)實現(xiàn)突破,據(jù)IC Insights數(shù)據(jù)顯示,我國刻蝕設備的國產(chǎn)化率在20%以上,是我國最具優(yōu)勢的半導體設備。

半導體制造需要很多的步驟,刻蝕是半導體制造中十分關鍵的一環(huán),刻蝕通過物理或化學方法將硅片表面不需要的材料去除,從而將掩膜圖形正確的復制到涂膠硅片上。刻蝕過程需要用到刻蝕機這一設備。如今,我國在光刻機領域雖然還難以突破,但在刻蝕機領域,我國已經(jīng)實現(xiàn)突圍。

全球芯片目前處于一個非常關鍵的時期,一個小小的芯片,可能需要經(jīng)歷很繁瑣的制造工藝過程,比如芯片的最初設計,再到制造以及封測,每一個看似獨立的過程里卻聯(lián)系十分緊密一段,哪個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題,這款芯片可能就是白搭了。而在全球市場上和美國相比較,我們的技術應該算得上是比較落后的,因為對于芯片的進口依賴程度非常的高,而自主研發(fā)的能力又比較弱。

中微半導體是我國刻蝕機領頭羊企業(yè),如今已經(jīng)打入臺積電的生產(chǎn)線,由尹志堯在2004年一手創(chuàng)建。由于眾所周知的原因,我國近期在光刻機領域很難有突破了,但是在半導體其他方面還是突破不斷,十余年的堅持讓中微半導體成功實現(xiàn)了從6.5nm,到最領先的5nm的攻克。而且,中微半導體5nm刻蝕機,還成功打入臺積電生產(chǎn)線。為此,中微半導體成為大陸本土設備商中,唯一被臺積電認可的廠商。并且手握了將近1142項“刻蝕機”的專利,他們的目標就是下一步走向國際市場。

或許有些人對中微半導體比較陌生,也不明白刻蝕機具體是做什么的。首先中微半導體的創(chuàng)始人是尹志堯,畢業(yè)于中國科學技術大學,后海外留學加利福尼亞大學洛杉磯分校,獲得物理化學博士學位。中微半導體的實力是不可小覷的,其生產(chǎn)的刻蝕機已經(jīng)進入到5nm制程階段,也是中國少數(shù)打入臺積電供應鏈的大陸企業(yè)。不僅如此,中微半導體也曾為長江存儲提供9臺刻蝕機設備。該公司在2020年度預計實現(xiàn)歸母凈利潤在4.4億元到5.2億元間。相比2019年,歸母凈利潤有望實現(xiàn)同比133.34%到175.77%的增長。中微公司正式成立于2004年,是國產(chǎn)蝕刻機領域當之無愧的龍頭企業(yè)。短短十幾年的時間,中微公司自主研發(fā)的蝕刻機精度從65nm一路突飛猛進,升級到5nm。這個過程中,中微公司不僅追平了國際大廠,而且還做到了世界領先水平。

除了中微科技,還有北方華創(chuàng)企業(yè),業(yè)績連續(xù)三年復合增長率超過30%,上市十年,一步一步從一家名不見經(jīng)傳的小公司成長為國內(nèi)集成電路工藝裝備的龍頭企業(yè),這家公司正是北方華創(chuàng)。北方華創(chuàng)更是成為蝕刻機、PVD、CVD等設備國產(chǎn)化第一先鋒。公司2020年凈利潤在4.6億到5.8億之間,同比增長超過48%,在疫情影響下能去如此出色的成績著實難得。北方華創(chuàng)的刻蝕設備已經(jīng)覆蓋集成電路、LED、先進封裝、功率半導體、MEMS微機電系統(tǒng)、化合物半導體、硅基微顯、分析儀器、功率器件、光通信器件等多個領域,硅刻蝕機已突破14nm技術,進入主流芯片代工廠。其中,12英寸ICP刻蝕機在實現(xiàn)客戶端28nm國產(chǎn)化替代,并在14/7nm SADP/SAQP、先進存儲器、3D TSV等工藝應用中發(fā)揮著重要作用。

雖然一些“禁令”都讓中國企業(yè)陷入困境,但我們都知道天無絕人之路,方法總比困難多,中國半導體行業(yè)在這些禁令的打壓下將會慢慢站起來,擺脫發(fā)達國家對于技術的束縛。相信中國必將走出這些困境,成功打破國外的壟斷,走出屬于自己的半導體之路。

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