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[導讀]近年來,隨著工業(yè)互聯(lián)網、人工智能、智能制造的興起,作為數(shù)據(jù)采集的源頭,傳感器得到了廣泛的應用。傳感器是智能裝備重要感官,其研發(fā)過程往往分為兩個階段:從技術創(chuàng)新到成本降低。

傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,并能將感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。傳感器的特點包括:微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網絡化。它是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。傳感器的存在和發(fā)展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來。通常根據(jù)其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。

近年來,隨著工業(yè)互聯(lián)網、人工智能、智能制造的興起,作為數(shù)據(jù)采集的源頭,傳感器得到了廣泛的應用。

傳感器是智能裝備重要感官,其研發(fā)過程往往分為兩個階段:從技術創(chuàng)新到成本降低。

傳感器作為智能裝備的自主輸入裝置,相當于人的各種感覺器官。智能裝備對于外界環(huán)境的感覺主要有視覺、位置覺、速度覺、力覺、觸覺等。

到2019年,全球傳感器市場規(guī)模已經達到2265億美元。然而,目前國內傳感器的供應上仍然依賴進口,尤其在中高端傳感器領域,對外依賴度達到80%。在這樣的背景下,加速先進傳感器產業(yè)的國產化,就顯得尤為重要。日前,國內傳感器行業(yè)迎來了好消息。

繼全國首條8英寸MEMS研發(fā)中試線落地上海嘉定工業(yè)區(qū)后,近日,由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(以下簡稱“創(chuàng)新中心”)建設的國內首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線,也在嘉定成功通線。

隨著上海市加快推進城市數(shù)字化轉型,物聯(lián)感知網絡越織越密,先進傳感器產業(yè)蓬勃發(fā)展?!懊嫦蛐屡d技術發(fā)展和市場應用需求,創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件等關鍵共性技術,重點突破光學、聲學、力學等先進傳感器的核心工藝,并推動相關產品及應用的產業(yè)化。”創(chuàng)新中心相關負責人表示,未來,將重點搭建共性技術平臺,專注于先進傳感器特色工藝研發(fā)和中試。

據(jù)媒體報道,在我國上海智能傳感器產業(yè)園內,國內第一條12英寸先傳感器中試線,已經成功實現(xiàn)通線。需要知道的是,所謂的“中試”,也就是中間階段的試驗,在科技成果轉化為生產力的過程中,中試環(huán)節(jié)是少不了的。

這是因為任何科技成果在向生產力轉化時,都不可避免地面臨試錯問題,而中試就是根據(jù)小試成果進行放大,如果這一步成功后,就基本可以“官宣”量產了。相關統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,在科技成果產業(yè)化的過程中,如果沒有中間階段的試驗,它的產業(yè)化成功率只有30%,通過中試后,這一數(shù)據(jù)就提高到80%。所以,中試的好處是顯而易見的。

據(jù)介紹,該中試線以國產設備為主,具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級 3D 集成技術的核心工藝能力,同時為國產裝備提供驗證平臺,加速先進傳感器產業(yè)鏈國產化,實現(xiàn)自主可控。

了解到,國家智能傳感器創(chuàng)新中心表示,將在 12 英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術,重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝,并推動相關產品及應用的產業(yè)化。

目前,創(chuàng)新中心已聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網產業(yè)聯(lián)盟的1000余家企業(yè)開展共性技術研發(fā),形成的“產、學、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制,將加速國內先進傳感器及相關應用的核心技術發(fā)展,推動智能傳感、物聯(lián)網、人工智能的生態(tài)體系建設。

近年來,我國也是十分重視傳感器行業(yè)的發(fā)展的,出臺相關政策支持,比如在智能傳感器產業(yè)相關發(fā)展指南、“十三五”發(fā)展規(guī)劃中,我國對傳感器的發(fā)展目標和任務都有相關的規(guī)定。

面向新興技術發(fā)展和市場應用需求,創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關鍵共性技術,重點突破光學、聲學、力學、生物等先進傳感器的核心工藝,并推動相關產品及應用的產業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產業(yè)園內,產業(yè)園以智能傳感器為核心,以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐,伴有精準的政策助力,發(fā)展傳感器特色工藝,積極培育和引進領先的智能傳感器產業(yè)鏈領軍企業(yè),促進產業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展,力爭將上海嘉定打造成國內傳感器領域產業(yè)高地。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進傳感器技術創(chuàng)新,以關鍵共性技術的研發(fā)和中試為目標,聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網產業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產業(yè)鏈各領域的代表企業(yè)開展共性技術研發(fā),形成“產、學、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制,加速我國先進傳感器及其相關應用的核心技術發(fā)展,推動智能傳感、物聯(lián)網、人工智能的生態(tài)體系建設。

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