據(jù)日經(jīng)新聞11月6日?qǐng)?bào)道，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)供應(yīng)極紫外光(EUV)光刻機(jī)給中芯國(guó)際的計(jì)劃已經(jīng)中止，多位ASML供應(yīng)商關(guān)系人士指出，ASML是為了避免因供應(yīng)最先進(jìn)的設(shè)備給中國(guó)，擔(dān)心刺激到美國(guó)，因此決定暫時(shí)中止交貨。

據(jù)了解，中芯國(guó)際是在去年4月份向ASML訂購(gòu)了EUV光刻機(jī)，原定于2019年底交付，到2020年中期完成安裝。

ASML是目前世界上唯一一家能夠生產(chǎn)出高端光刻機(jī)的廠商，EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)最新、最強(qiáng)大芯片必要設(shè)備，它能夠生產(chǎn)出7nm以下的設(shè)備，它的光線波長(zhǎng)可以達(dá)到普通設(shè)備的十五分之一，因此也可以蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路，如果沒(méi)有EUV，芯片研發(fā)將可能會(huì)寸步難行。

另有消息人士表示：“ASML決定推遲EUV設(shè)備的交付，是因?yàn)椴幌胱屆绹?guó)政府為了最先進(jìn)的芯片制造機(jī)器運(yùn)往中國(guó)而煩惱。”他還補(bǔ)充說(shuō)：“但與此同時(shí)，ASML不想讓中國(guó)客戶感到不安，因?yàn)槟抢锸瞧湓鲩L(zhǎng)最快的市場(chǎng)。”據(jù)了解，中國(guó)市場(chǎng)占ASML營(yíng)收比重約2成、僅次于韓國(guó)(35%)，因此ASML并不是完全取消上述供貨計(jì)劃，今后將謹(jǐn)慎確認(rèn)美中緊張情勢(shì)是否有好轉(zhuǎn)等情況、再來(lái)決定后續(xù)的因應(yīng)對(duì)策。

11月7日，針對(duì)以上報(bào)道，ASML公司官方做出了回應(yīng)，內(nèi)容如下：

關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)昨日?qǐng)?bào)導(dǎo)，其標(biāo)題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導(dǎo)，本公司在此提出澄清。

我司不對(duì)任何客戶做comment。對(duì)于日經(jīng)新聞報(bào)道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測(cè)，ASML從未評(píng)論或確認(rèn)，因此，“延遲出貨”僅為媒體推測(cè)。對(duì)其將推測(cè)直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。

ASML一向在遵守相關(guān)國(guó)際法規(guī)的前提下一視同仁地服務(wù)全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國(guó)需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng)，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此，關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說(shuō)法是錯(cuò)誤的，ASML系遵循法規(guī)行事。