Edwards公司推出帶有完全集成一體化控制器的STP-iXR1606系列磁懸浮(magnetically-levitated)渦輪分子泵(turbo-molecular pumps，TMP)。新型TMP泵包含了革新性的旋轉(zhuǎn)設(shè)計，與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，在高氣體流量下可提高40%的處理能力，并增加接近90%的最大氣體流量。

Edwards的新TMP泵帶有完全集成的控制器，省去了非集成控制器通常需要的連接電纜和控制柜。這有助于減少占位面積，為晶圓廠節(jié)省寶貴的空間，以及安裝時間和成本。此外，該一體式控制器包含了小型電源，與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，在處理高流量氣體時能夠降低32%的能耗。

Edwards STP 產(chǎn)品經(jīng)理 Masahide Tanaka稱：“新的STP-iXR1606擴(kuò)展了Edwards行業(yè)領(lǐng)先的渦輪分子泵本身已有的較高性能。它的峰值抽速與我們最出色的8英寸TMP泵相匹配，但在處理能力和最大容許氣體流量方面則有顯著的提高。正如我們所有的磁懸浮TMP，該設(shè)備無需維護(hù)。STP-iXR1606系列為我們的客戶提供了適合所有應(yīng)用的一體化TMP解決方案，同時能夠減少占位面積，簡化安裝過程并降低能源消耗成本。”

STP-iXR1606系列具有等同IP54級別的防塵和防潮性能，在多塵環(huán)境中提供了高可靠性。新設(shè)備具有I/O遠(yuǎn)程、RS232C、RS485和STP-link標(biāo)準(zhǔn)通信接口，以及提供Profibus和DeviceNet選項。

Edwards STP-iXR1606 TMP 真空泵現(xiàn)已供應(yīng)。