3月19-21日Semicon China 2013在上海浦東國際展覽中心落幕，東方中科集成科技股份有限公司(以下簡稱：東方集成)作為Semicon會員單位，同德國SENTECH Instruments GmbH一起向廣大新老客戶、合作展示我們在半導體行業(yè)的各種設備和最新產(chǎn)品，吸引了來自全國各地的客戶，上下游合作伙伴及同行的目光。展會獲得圓滿成功。

(圖為東方集成Sentech產(chǎn)品經(jīng)理郭峰接受雜志記者采訪)

Sentech是一家等離子加工技術設備的全球領導者，研發(fā)，生產(chǎn)和銷售最先進的等離子刻蝕和沉積系統(tǒng)，最著名的是其獨有的平板三螺旋等離子源，基于這一特點可以實現(xiàn)與眾不同的低損傷，高速率和低溫工藝。本次展會Sentech還推出了最新產(chǎn)品ALD(原子層沉積)和PEALD(等離子增強原子層沉積)。

東方集成作為SENTECH在中國地區(qū)的總代理，負責SENTECH等離子工藝設備在中國地區(qū)的銷售和技術支持工作，有超過10年的合作和本地服務經(jīng)驗。東方集成總部設在北京，在上海、南京、蘇州、深圳、武漢、西安、成都等地設有分支機構，可為全國各地客戶提供快速響應、高質量技術服務。