2015年1月，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)與上海華力微電子有限公司簽訂2臺12英寸立式氧化爐供銷合同，用于其55納米集成電路生產線。這標志著七星電子的氧化爐產品繼在中芯國際驗證成功后，又一次在國內高端集成電路生產領域取得突破，開始走向商用化。

圖 七星電子12英寸立式氧化爐

七星電子具有50余年的半導體裝備研制生產歷史，是我國集成電路工藝設備骨干研制生產企業(yè)。近年來，在國家科技重大專項支持下，七星電子承擔了12英寸立式氧化爐的研制任務。通過企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新與投入，以及和用戶的緊密合作，七星電子研發(fā)團隊成功研制出完全自主知識產權的12英寸立式氧化爐產品，通過了中芯國際90納米、65納米、45納米、28納米生產線的工藝驗證。設備的關鍵工藝指標、可靠性、安全性均達到國際同等設備技術水平，并實現(xiàn)產品系列化。

未來，七星電子將瞄準集成電路產業(yè)技術發(fā)展方向，通過持續(xù)投入，不斷提高自身技術研發(fā)能力和立式爐產品的技術水平，增強國際市場競爭力。同時，通過12英寸LPCVD,單片清洗機等產品的研制，擴大集成電路裝備產品線，努力把企業(yè)打造成國內高端集成電路設備的龍頭企業(yè)，為中國集成電路產業(yè)的發(fā)展貢獻力量。