上交所科創(chuàng)板上市委員會22訊，此前召開了2019年第35次審議會議，根據(jù)審議結果顯示，沈陽芯源微電子設備股份有限公司首發(fā)獲通過。

統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，截至 10 月 21 日晚間，科創(chuàng)板已受理企業(yè)為 165 家，過會企業(yè) 72 家，注冊生效 54 家，終止審核 13 家。上證報獲悉，預計到 11 月上旬，科創(chuàng)板掛牌公司數(shù)量有望達 50 家。到今年底，上交所將審結絕大多數(shù)申報企業(yè)，屆時提交證監(jiān)會履行發(fā)行注冊程序的企業(yè)家數(shù)有望超過 100 家。

自 7 月 12 日進入科創(chuàng)板“考場”，芯源微高效“應試”，僅經(jīng)過兩輪問詢便沖刺到上市委審議環(huán)節(jié)。從受理到過會，公司僅歷時 101 天。昨日經(jīng)過現(xiàn)場問詢，公司共收到 2 個審核意見，包括補充披露公司及芯源有限的實際控制人的變化情況，包括但不限于未將原董事長鄭廣文認定為實際控制人的理由以及是否對公司構成潛在重大風險。

招股說明書顯示，芯源微主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備和單片式濕法設備，產(chǎn)品可用于 6 英寸及以下單晶圓處理及 8/12 英寸單晶圓處理。

2016-2018 年和 2019 年 1-3 月，芯源微電子的營業(yè)收入分別為 1.48 億元、1.90 億元、2.10 億元和 0.10 億元;同期，凈利潤分別為 492.85 萬元、2626.81 萬元、3047.79 萬元和 -902.52 萬元。

芯源微成立于 2002 年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備(涂膠 / 顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備(清洗機、去膠機、濕法刻蝕機)，可用于 6 英寸及以下單晶圓處理(如 LED 芯片制造環(huán)節(jié))及 8/12 英寸單晶圓處理(如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié))。此外，該公司位列國產(chǎn)半導體設備廠商五強

作為與光刻機配合進行作業(yè)的關鍵處理設備，芯源微生產(chǎn)的涂膠 / 顯影機成功打破國外廠商壟斷并填補國內(nèi)空白，其中在 LED 芯片制造及集成電路制造后道先進封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機型已成功實現(xiàn)進口替代。公司成功突破了應用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設備技術，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進行工藝驗證。