臺積電前不久試產了7nm EUV工藝，預計明年大規(guī)模量產，三星今天宣布量產7nm EUV工藝，這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了，而全球最大的光刻機公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。ASML公司日前發(fā)布2018年Q3季度財報，當季營收27.8億歐元，凈利潤6.8億歐元，出貨了5臺EUV光刻機，全年預計出貨18臺，明年將增長到30臺，而且明年下半年會推出新一代的NXE:3400C型光刻機，生產能力從現(xiàn)在的每小時125晶圓提升到155片晶圓以上，意味著產能提升24%。

根據(jù)ASML公司的Q3季度財報，ASML的設備銷售營收20.81億歐元，安裝管理服務等業(yè)務營收6.95億歐元，當季營收27.76億歐元，同比增長13.4%，環(huán)比增長1%，不過毛利率達到了48.1%，同比增加5.2個百分點，環(huán)比也增加了4.8個百分點。

Q3季度的光刻機銷售中，韓國公司占比33%，臺灣公司占比30%，大陸公司占比18%，前一個季度中大陸公司占比是19%，不過Q3季度中臺灣公司占比從18%增長到了30%，韓國公司占比從35%降至33%。

在單機過億歐元的EUV光刻機方面，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數(shù)量將達到18臺，而2019年EUV光刻機預計出貨數(shù)量達到30臺。

明年除了EUV光刻機數(shù)量大漲之外，ASML公司明年下半年還將推出進一步改進的NXE:3400C光刻機，WPH(每小時處理的晶圓數(shù)量)產能將提升到155片，而現(xiàn)在的NXE:3400B型EUV光刻機的產能在合作伙伴的工廠中已經實現(xiàn)了125 WPH的產能，NXE:3400C的產能預計再提升24%，這對改善EUV工藝的產能很有幫助。

不過EUV光刻工藝今年正式量產只是一個開始，EUV光刻工藝目前離成熟還早呢，155 WPH的產能可喜可賀，但是現(xiàn)在的沉浸式光刻機的產能可達250 WPH，而且能以250W的光源長時間穩(wěn)定運行，這些都是EUV光刻機暫時做不到的。