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[導讀]MapperLithography日前表示,公司已經(jīng)向臺積電(TSMC)發(fā)貨了其首套300mm多電子束(e-beam)無掩膜光刻工具,用于22nm工藝研發(fā)和器件原型制作。 “Mapper的技術(shù)為22nm及更高節(jié)點具有成本效益的制造提供了很大的保障

MapperLithography日前表示,公司已經(jīng)向臺積電(TSMC)發(fā)貨了其首套300mm多電子束(e-beam)無掩膜光刻工具,用于22nm工藝研發(fā)和器件原型制作。

“Mapper的技術(shù)為22nm及更高節(jié)點具有成本效益的制造提供了很大的保障,”TSMC研發(fā)部副總裁JackSun表示,“因此我們將評估Mapper的方案,采用該公司第一套這種工具,我們能夠探究出它是否適合量產(chǎn)制造。Mapper的解決方案也將是適用未來節(jié)點光刻標準的有力候選者?!?/P>

Mapper這套系統(tǒng)最高全量產(chǎn)能力將達到13,000條并行電子束,以直寫電路圖形。

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最近看到APP上,給我推送了很多類似的回答,借此機會,也想著重新審視一下自己的學習歷程,以及結(jié)合自身和大牛,分享一些學習經(jīng)驗,希望對大家有所啟發(fā)和幫助。

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