2010年6月8日，Crossing Automation公司（www.crossinginc.com）近日宣布，其開發(fā)的SpartanTM設(shè)備前端模塊（EFEM）已被一家頂尖的光刻與量測(cè)設(shè)備產(chǎn)商選擇作為第二代量測(cè)工具。Crossing是一家向大規(guī)模半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動(dòng)化解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。

Spartan EFEM之所以被選中，是因?yàn)橐环矫鍯rossing能對(duì)其進(jìn)行個(gè)性化設(shè)計(jì)來滿足客戶的特定需求，另一方面它的測(cè)試平臺(tái)容易實(shí)現(xiàn)軟件集成。此外，Crossing還能提供ExpressSolutions?工程支持，這將顯著縮短產(chǎn)品的市場(chǎng)推廣時(shí)間。此訂單表明，Crossing的常壓晶圓加工技術(shù)又獲得了一家一線原始設(shè)備制造商（OEM）新客戶。

?“這個(gè)大訂單完全證明了Spartan的技術(shù)價(jià)值，以及我們通過Spartan提供的服務(wù)與支持能力致力于為OEMs服務(wù)，”Crossing Automation公司的產(chǎn)品營(yíng)銷副總裁May Su介紹，“我們能夠和客戶一道設(shè)計(jì)并提供定制界面，極大地促進(jìn)制造工藝與測(cè)試模塊的集成，同時(shí) Spartan的卓越表現(xiàn)能滿足各種光刻工藝的嚴(yán)格要求?！?/p>

通過Spartan，Crossing能夠通過簡(jiǎn)潔統(tǒng)一的設(shè)計(jì)提供完整的EFEM解決方案，該方案提供更高效率、更好的微塵性能、優(yōu)化的超凈空間和更低的擁有成本。促使用戶選擇Spartan的主要功能之一便是其先進(jìn)的被動(dòng)背面接觸（PBC）終端受動(dòng)器設(shè)計(jì)，可消除邊緣接觸處的微塵，并通過使用專用的聚合物襯墊盡量減少背面的微塵。Spartan自帶的Wafer Engine?機(jī)器人的高精度和高可靠性也為它提供了更多的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

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