“抱團(tuán)”參加制博會(huì)亮出百款新產(chǎn)品

9月14日，第十二屆中國(guó)國(guó)際裝備制造業(yè)博覽會(huì)（簡(jiǎn)稱制博會(huì)）W1館入門處一個(gè)展館——沈陽(yáng)國(guó)家IC裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地展區(qū)，吸引了許多專業(yè)人士的目光。在300多平方米的展區(qū)內(nèi)，包括沈陽(yáng)新松機(jī)器人、沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備、沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備、沈陽(yáng)儀表科學(xué)院有限公司等11家IC裝備骨干企業(yè)攜帶百余款新產(chǎn)品“抱團(tuán)”亮相，為制博會(huì)增添了濃濃的科技色彩。

在新松公司展臺(tái)前，一個(gè)2米多高的機(jī)器人正在搬運(yùn)玻璃，隨著機(jī)器人“爪子”的上下左右擺動(dòng)工作，1塊1米見方的玻璃板被一臺(tái)搬運(yùn)機(jī)器人自如地“玩轉(zhuǎn)”于股掌之中。展會(huì)上，新松公司展示了3款產(chǎn)品，除了這款搬運(yùn)機(jī)器人，還有潔凈類機(jī)器人兩款產(chǎn)品，代表了當(dāng)今中國(guó)機(jī)器人發(fā)展水平。

沈陽(yáng)圣仁電子科技有限公司展出了6款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)全手工制作的探針卡，均為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)產(chǎn)品。探針卡是用于檢測(cè)芯片的液晶面板，屬于一種工業(yè)耗材。各類電子芯片的檢測(cè)都離不開它。沈陽(yáng)中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司今年是第一次參與國(guó)內(nèi)展覽，在現(xiàn)場(chǎng)，工作人員展示了其自主研發(fā)的鍋爐專用控制系統(tǒng)，這種控制系統(tǒng)用在燃?xì)忮仩t上，最大特點(diǎn)是能夠根據(jù)環(huán)境的變化控制鍋爐的溫度。

在沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司展臺(tái)，一臺(tái)新型的勻膠顯影儀吸引了一群觀眾。工作人員介紹，勻膠顯影儀是為芯片進(jìn)行涂膠和曝光的設(shè)備，是電子芯片生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈中不可缺少的一個(gè)環(huán)節(jié)。沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司也拿出了自己的最新產(chǎn)品——ZSH508自動(dòng)砂輪劃片機(jī)，用于切割半導(dǎo)體元件、晶圓、硅片等，是半導(dǎo)體軟件制造產(chǎn)業(yè)中重要的生產(chǎn)設(shè)備。

“300平方米展臺(tái)，盡管只占本次制博會(huì)展覽10萬(wàn)平方米展臺(tái)非常小的部分，卻代表著產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，是提升沈陽(yáng)裝備制造業(yè)的重要力量?！眳⒂^完沈陽(yáng)國(guó)家IC裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地展區(qū)后，一位中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所的老專家深有感觸地說(shuō)。