微影設(shè)備大廠荷商艾司摩爾第2季財(cái)報(bào)符合市場(chǎng)預(yù)期，執(zhí)行長(zhǎng)PeterWennink表示，行動(dòng)裝置需求強(qiáng)勁，帶動(dòng)晶圓代工廠及存儲(chǔ)器廠擴(kuò)大投資，其中晶圓代工廠已著手準(zhǔn)備20納米以下先進(jìn)制程產(chǎn)能，DRAM廠則擴(kuò)大MobileDRAM的擴(kuò)產(chǎn)，因此，下半年市場(chǎng)景氣將優(yōu)于上半年。

艾司摩爾（ASML）第2季因合并了微影光學(xué)廠Cymer，單季營(yíng)收達(dá)11.87億歐元，并銷售了38臺(tái)微影設(shè)備，其中來(lái)自于晶圓代工廠的訂單占了43％強(qiáng)，又以臺(tái)積電的訂單最多。而艾司摩爾已接但未出貨（backlog）的微影設(shè)備訂單已達(dá)42臺(tái)，將在年底前陸續(xù)交貨給客戶。

艾司摩爾執(zhí)行長(zhǎng)PeterWennink表示，晶圓代工廠客戶已經(jīng)著手進(jìn)行20納米至14納米以下先進(jìn)制程的微影設(shè)備建置，將用來(lái)生產(chǎn)新一代的行動(dòng)裝置內(nèi)建處理器芯片，同樣受惠于行動(dòng)裝置強(qiáng)勁需求的DRAM廠，因?yàn)槊媾R產(chǎn)能短缺問(wèn)題，也已開(kāi)始著手?jǐn)U充MobileDRAM產(chǎn)能。

艾司摩爾先前預(yù)估今年?duì)I收目標(biāo)約47.3億歐元，但受惠于客戶擴(kuò)大采購(gòu)，營(yíng)收目標(biāo)將上調(diào)到50億歐元。

艾司摩爾與英特爾、臺(tái)積電、三星等共同合作進(jìn)行的「客戶聯(lián)合投資專案」（CustomerCo-InvestmentProgram），主要投入極紫外光（EUV）及18寸晶圓微影設(shè)備的開(kāi)發(fā)。

在EUV微影技術(shù)方面，艾司摩爾指出，研發(fā)進(jìn)度符合預(yù)期，光源功耗已提升到55Ｗ，并完成60W的測(cè)試，預(yù)估2014年可將EUV微影設(shè)備的每小時(shí)晶圓產(chǎn)出量，提升到70片速度，亦即光源功耗將提升到100W。而艾司摩爾預(yù)估今年將出貨5臺(tái)NXE：3300B的EUV微影設(shè)備，并已拿到11臺(tái)正式訂單及7臺(tái)預(yù)訂訂單。

根據(jù)臺(tái)積電共同營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)蔣尚義的預(yù)期，EUV至少要達(dá)到每小時(shí)完成處理100片晶圓的產(chǎn)出量，才會(huì)具有經(jīng)濟(jì)效益，帶動(dòng)半導(dǎo)體廠改用EUV微影技術(shù)。設(shè)備業(yè)者推估，時(shí)間點(diǎn)應(yīng)會(huì)落在2015年左右，10納米可能是EUV真正可以進(jìn)入量產(chǎn)的制程節(jié)點(diǎn)。

在18寸晶圓微影設(shè)備部份，艾司摩爾根據(jù)客戶聯(lián)合投資專案內(nèi)容，正在準(zhǔn)備生產(chǎn)6套設(shè)備，初期將分成浸潤(rùn)式（immersion）及EUV等兩大平臺(tái)，其中2015年會(huì)先推出EUV微影平臺(tái)試產(chǎn)設(shè)備，2016年推出浸潤(rùn)式平臺(tái)試產(chǎn)設(shè)備，真正量產(chǎn)型的18寸微影設(shè)備的出貨時(shí)間大約落在2018年。