英特爾與臺積電向設(shè)備廠出資加速450mm晶圓和EUV曝光實用化
[導(dǎo)讀]圍繞450mm晶圓和EUV（ExtremeUltraviolet，超紫外線）曝光等新一代半導(dǎo)體制造技術(shù)的動向日趨活躍。2012年7月，全球最大的曝光設(shè)備廠商——荷蘭阿斯麥（ASML）宣布，將從半導(dǎo)體廠商獲得總額約為1300億日元的援助，以推
圍繞450mm晶圓和EUV（ExtremeUltraviolet，超紫外線）曝光等新一代半導(dǎo)體制造技術(shù)的動向日趨活躍。2012年7月，全球最大的曝光設(shè)備廠商——荷蘭阿斯麥（ASML）宣布，將從半導(dǎo)體廠商獲得總額約為1300億日元的援助，以推進技術(shù)開發(fā)。同時該公司還公布了向客戶企業(yè)出售最多25％的股份、接受其投資的計劃。該公司將通過上述措施加速450mm晶圓技術(shù)和EUV曝光技術(shù)的開發(fā)，建立可在2018年前后開始采用這些技術(shù)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的環(huán)境。
最先參與這項計劃的是英特爾。英特爾除了收購阿斯麥15％股份的以外，還將向其提供約800億日元的研發(fā)費用。之后，臺積電（TSMC，TaiwanSemiconductorManufacturing）也加入了該計劃。臺積電將收購阿斯麥5％的股份，并提供約270億日元的研發(fā)費用。此外，似乎三星電子也在考慮向阿斯麥投資。英特爾還將對全球第二大曝光設(shè)備企業(yè)尼康提供支援，用于開發(fā)450mm晶圓的設(shè)備等。
半導(dǎo)體廠商向設(shè)備廠商出資
英特爾和臺積電將入股全球最大的曝光設(shè)備企業(yè)阿斯麥，同時還將為450mm晶圓的設(shè)備和EUV曝光設(shè)備提供研發(fā)資金。而且，三星等可能也會加入到這一計劃。英特爾估計還會向全球第二大曝光設(shè)備企業(yè)尼康提供規(guī)模達到數(shù)百億日元的資金援助。（攝影：阿斯麥）
上述動向表明，新一代制造技術(shù)的開發(fā)負擔很大。由于僅靠設(shè)備廠商難以維持足夠的開發(fā)資金，因此希望盡快利用這些技術(shù)的半導(dǎo)體廠商開始提供支持。原來設(shè)備業(yè)界對450mm晶圓技術(shù)一直持消極態(tài)度，而現(xiàn)在認為“今后450mm晶圓技術(shù)的開發(fā)將全面啟動”（大型制造裝置廠商）的觀點越來越強烈。原因是曝光設(shè)備支持450mm晶圓后，可以更加容易地推進開發(fā)周邊工藝的設(shè)備。
少數(shù)半導(dǎo)體廠商向設(shè)備廠商提供“資助”，產(chǎn)生了新一代制造設(shè)備將優(yōu)先供應(yīng)給這些廠商的可能性。NAND閃存巨頭東芝等將采取何種行動成為業(yè)界關(guān)注的焦點。
最先參與這項計劃的是英特爾。英特爾除了收購阿斯麥15％股份的以外，還將向其提供約800億日元的研發(fā)費用。之后，臺積電（TSMC，TaiwanSemiconductorManufacturing）也加入了該計劃。臺積電將收購阿斯麥5％的股份，并提供約270億日元的研發(fā)費用。此外，似乎三星電子也在考慮向阿斯麥投資。英特爾還將對全球第二大曝光設(shè)備企業(yè)尼康提供支援，用于開發(fā)450mm晶圓的設(shè)備等。
半導(dǎo)體廠商向設(shè)備廠商出資
英特爾和臺積電將入股全球最大的曝光設(shè)備企業(yè)阿斯麥，同時還將為450mm晶圓的設(shè)備和EUV曝光設(shè)備提供研發(fā)資金。而且，三星等可能也會加入到這一計劃。英特爾估計還會向全球第二大曝光設(shè)備企業(yè)尼康提供規(guī)模達到數(shù)百億日元的資金援助。（攝影：阿斯麥）
上述動向表明，新一代制造技術(shù)的開發(fā)負擔很大。由于僅靠設(shè)備廠商難以維持足夠的開發(fā)資金，因此希望盡快利用這些技術(shù)的半導(dǎo)體廠商開始提供支持。原來設(shè)備業(yè)界對450mm晶圓技術(shù)一直持消極態(tài)度，而現(xiàn)在認為“今后450mm晶圓技術(shù)的開發(fā)將全面啟動”（大型制造裝置廠商）的觀點越來越強烈。原因是曝光設(shè)備支持450mm晶圓后，可以更加容易地推進開發(fā)周邊工藝的設(shè)備。
少數(shù)半導(dǎo)體廠商向設(shè)備廠商提供“資助”，產(chǎn)生了新一代制造設(shè)備將優(yōu)先供應(yīng)給這些廠商的可能性。NAND閃存巨頭東芝等將采取何種行動成為業(yè)界關(guān)注的焦點。
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