CMEMS技術是由時序解決方案供應商Silicon Labs與中芯國際合作開發(fā)一種CMOS+MEMS創(chuàng)新制程。此技術結合許多超越傳統(tǒng)振蕩器制造的優(yōu)點，包括可擴展性、客戶可編程性、0天樣品生成及長期可靠性和效能。

Silicon Labs于2004年推出石英振蕩器(XO)系列產品，運用創(chuàng)新和專利的混合訊號專業(yè)技術，從單一基于晶體的參考頻率中生成任意的頻率輸出，免去不同頻率所需的特定晶體，因此大幅簡化晶體制造技術流程，包括特定切片與電鍍，這可以讓整體交期縮短到2周以內。

隨著CMEMS出現(xiàn)，Silicon Labs再次帶給頻率控制市場重要的技術進展。CMEMS采用微機電半導體諧振器取代XO當中的晶體諧振元件，此一技術更可將高效能MEMS直接建構在標準的CMOS晶圓上，且制程線寬可小于180奈米。結合混合訊號知識，CMEMS技術可以采用單一參考頻率，生成幾乎所有頻率輸出。