蘇報(bào)訊（記者　周建越）昨天，位于高新區(qū)的中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)第二一四研究所與清華大學(xué)、東南大學(xué)、蘇州大學(xué)簽署“MEMS工程技術(shù)研究中心”戰(zhàn)略合作框架協(xié)議。

“MEMS”是指微小尺度機(jī)械電氣系統(tǒng)，主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及相應(yīng)的專用集成電路等幾部分，通常尺度為微米級(jí)。MEMS技術(shù)是在融合多種微納米量級(jí)加工技術(shù)以及集成電路工藝技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型多學(xué)科交叉的前沿技術(shù)，其重要的應(yīng)用載體是微慣性測(cè)量單元它以體積小、價(jià)格低、高可靠等優(yōu)點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于汽車電子、生物醫(yī)學(xué)、常規(guī)彈藥制導(dǎo)化等軍民領(lǐng)域。

中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)第二一四研究所，是蘇州最早引進(jìn)的大院大所之一，為建立MEMS器件與組件自主創(chuàng)新研發(fā)平臺(tái)，打破國(guó)外封鎖與壟斷，二一四所將聯(lián)合清華大學(xué)、東南大學(xué)、蘇州大學(xué)共同開(kāi)展MEMS慣性器件研發(fā)。合作方向?qū)ǎ篗EMS新理論、新技術(shù)、新工藝研究；MEMS 新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和工程化研制；MEMS產(chǎn)業(yè)化發(fā)展研究與模式探索；MEMS技術(shù)和產(chǎn)品應(yīng)用研究與市場(chǎng)推廣等。

通過(guò)本次簽約，合作各方將進(jìn)一步優(yōu)化資源配置、提升創(chuàng)新能力，大力發(fā)展MEMS在軍民兩個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用，以更好地服務(wù)地方經(jīng)濟(jì)，實(shí)現(xiàn)各方的合作共贏。