芯科實驗室(Silicon Labs)推出高整合度、基于微機電系統(MEMS)技術的 Si50x 振蕩器，以替代需要低成本、低功耗和大量生產的工業(yè)、嵌入式和消費性電子應用中的通用型晶體振蕩器(XO)，相關應用包括數位相機、儲存設備和記憶體、ATM、POS設備和多功能印表機等。
新型 Si50x 振蕩器基于 Silicon Labs 專利的 CMEMS 技術，為首項在大量生產中將MEMS架構直接建構于標準CMOS晶圓上、并達到完全整合的高可靠性「CMOS+MEMS」單晶片解決方案。新款振蕩器委托中國晶圓代工業(yè)者中芯國際(SMIC)生產制造，相較于現有的頻率控制解決方案，Si50x 具備更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化特性以及更高整合度，其采用專利技術的單片式架構，在單晶粒(single die)中整合MEMS諧振器和CMOS振蕩器電路。

Silicon Labs的CMOS+MEMS整合架構與該公司廣受肯定的混合訊號專業(yè)經驗相結合，CMEMS振蕩器CMOS工廠大量生產制造，此工廠擁有標準生產線，支援完整振蕩器系統的晶圓針測(wafer probing)制程，具備最高品質和生產技術；CMEMS技術可實現資料手冊保證的效能，并具備10年的頻率穩(wěn)定性，包括焊接偏移、負載推移、VDD變化、運行溫度范圍、振動和沖擊，其保證操作壽命效能是他牌XO和MEMS振蕩器的10倍。

CMEMS振蕩器緊密耦合MEMS諧振器、CMOS溫度感測器和補償電路，并在熱力瞬變時及整個工業(yè)溫度范圍內提供高穩(wěn)定的頻率輸出，在工業(yè)和嵌入式應用的長期運作期間提供可預期的可靠頻率參考；CMEMS諧振器采用被動補償，在設計中使用可抵消溫度變動的材料。因此Silicon Labs可透過創(chuàng)新的混合訊號電路設計專業(yè)知識，來創(chuàng)造更小、更低功耗、更符合成本效益的振蕩器，同時確保最佳的頻率和溫度穩(wěn)定性以及抗老化效能。

Si50x CMEMS振蕩器支援32kHz至100MHz間的任意頻率。頻率穩(wěn)定性選項包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，運行溫度范圍支援商業(yè)應用(-20℃至+70℃0和工業(yè)應用(-40℃至+85℃)。CMEMS振蕩器還提供豐富的現場和工廠可編程特性，包括低功耗和低周期抖動模式、可編程的上升/下降時間，以及可配置高/低輸出功能。

Si50x振蕩器如同Silicon Labs的所有振蕩器產品，均提供網路客制化功能和2周樣品交付周期，其也可透過Silicon Labs銷售合作夥伴在客戶端「零延遲」即時現場燒錄。此外，Si50x振蕩器與現有的石英或MEMS振蕩器接腳和封裝相容，可實現快速便捷的替換解決方案。

Si50x系列產品包括四類產品，具有數千種的時序配置彈性：Si501為具備控制輸出(OE)功能的單頻振蕩器；Si502為具備OE和頻率選擇(FS)功能的雙頻振蕩器；Si503為具備頻率選擇技術的四頻振蕩器；Si504為可編程的振蕩器，完整支援所有配置特性，采用單一接腳介面，以ppb (parts per billion)等級精度進行精準的頻率調整

Silicon Labs副總裁暨時序產品總經理Mike Petrowski表示，Si50x CMEMS振蕩器系列產品同時具備通用型晶體振蕩器的最佳特點，并提高可靠性以及縮短交貨周期。經由結合Silicon Labs專業(yè)的MEMS設計、元件、制程整合和混合訊號設計技術，Si50x系列產品為重視成本和功耗之嵌入式、工業(yè)和消費性電子應用提供了最佳的通用型振蕩器解決方案。未來該公司也將針對更高階應用，陸續(xù)推出以CMEMS技術為基礎的新一代振蕩器產品。

Silicon Labs Si501/2/3/4 CMEMS振蕩器現已量產，目前提供三種工業(yè)標準的4接腳DFN封裝尺寸，分別為： 2mm x 2.5mm、2.5mm x 3.2mm及3.2mm x 5mm。Silicon Labs亦提供Si501-2-3-4-EVB評估套件，包括預先燒錄的Si504元件和適合各封裝尺寸的開放插槽，以利于客戶進行評估。