2013年1月舉行的MEMS國際學(xué)會(huì)“IEEE MEMS 2013”上，有可在真空封裝內(nèi)高精度運(yùn)行的三軸加速度傳感器的相關(guān)發(fā)布（論文序號(hào)：3A-2）。與角速度傳感器（陀螺儀）集成在一枚芯片上，易于收納在一個(gè)封裝內(nèi)。一般而言，大多數(shù)加速度傳感器要在大氣壓或以上水平，角速度傳感器要在接近真空的氣壓下方可穩(wěn)定且高精度工作。因此，將這兩個(gè)傳感器集成在同一封裝并維持高精度和穩(wěn)定性是很難的。

       此次的加速度傳感器在一枚芯片上形成了檢測(cè)加速度用的三個(gè)軸的重錘，重錘的動(dòng)作由其與周圍電極的間隙位移而導(dǎo)致的靜電容量變化（因）來檢測(cè)。特點(diǎn)是可使用元件層厚度為40μm的SOI晶圓，同時(shí)間隙縮小到了300nm。而據(jù)稱，目前用于此目的的間隙多為1μ～5μm。

   
三軸加速度傳感器的構(gòu)造（美國佐治亞理工學(xué)院和美國Qualtré公司的數(shù)據(jù)）。（點(diǎn)擊放大）  

  三軸加速度傳感器的截面示意圖（美國佐治亞理工學(xué)院和美國Qualtré公司的數(shù)據(jù)）。（點(diǎn)擊放大）

       因選擇了如此狹窄的間隙，加速度傳感器即便在接近真空的環(huán)境下也可穩(wěn)定工作。而一般加速度傳感器的重錘要在受到加速度時(shí)動(dòng)作，其在要復(fù)位時(shí)會(huì)振動(dòng)。為將該振動(dòng)控制在短時(shí)間內(nèi)而利用了空氣粘性。此次有別于電容器的靜電容量檢測(cè)，設(shè)置了旨在施加可抑制振動(dòng)電壓的衰減電極，因此不靠空氣粘性就可使振動(dòng)衰減。據(jù)稱，電極上施加的可致足夠衰減的電壓，取決于間隙的大小。減小間隙便可用低電壓獲得足夠的衰減，就能維持此次這樣的微小構(gòu)造。（記者：三宅 常之，Tech-On！）