MEMS是近年來最受關(guān)注的模擬技術(shù)之一，據(jù)iSuppli報告顯示，從2010年至2015年MEMS的銷售額年復合增長率是11%。筆者日前在硅谷采訪的MEMS公司IMT(Innovative Micro Technology)，將MEMS技術(shù)應用到細胞分選儀醫(yī)療設備上，為癌癥治療帶來更為先進的方法。

圖1：IMT今年1月上任的CEO Craig Ensley認為MEMS在醫(yī)療上的應用非常有意義

IMT公司的業(yè)務涵蓋了RF、紅外、能源、測試、生命醫(yī)療、生物技術(shù)、光學和導航等多個領域。IMT公司提供MEMS代工業(yè)務的同時，自主設計生產(chǎn)的MEMS產(chǎn)品也處于領先地位，例如IMT公司的開關(guān)出貨量達到6200萬片，超過了其它MEMS廠商的總和。它還能夠提供最精細的MEMS，在單個芯片上的漏孔可達到100萬個，精度達到22納米級；IMT還擁有世界上最快的MEMS技術(shù)，平均加速度可以達到驚人的12,000Gs。

據(jù)IMT公司的CEO Craig Ensley表示，IMT的MEMS技術(shù)在敏感度和復雜度達到世界第一?！肮居?寸的晶圓廠，工藝可達到0.3微米，年產(chǎn)能約為45,000個晶圓，可以為客戶提供Turn-key MEMS foundry服務。IMT公司有42個MEMS技術(shù)專利，已經(jīng)申請待批的專利有49個?！?br>在此次媒體見面會上主要介紹的是一款用于醫(yī)療設備細胞分選儀上的MEMS技術(shù)。


圖2：Nanosorter設計已經(jīng)在醫(yī)院中開始使用

“最近我們宣布了與Owl生物醫(yī)療公司業(yè)務授權(quán)合作，IMT公司的MEMS已經(jīng)用于Owl的的細胞分選儀Nanosorter上。采用了IMT公司的Cell Sorter后，細胞的存活率從50%提升到了97%以上，細胞的篩選率達到了每小時200M個。這大大提升了細胞治療如癌癥、慢性心臟疾病、淋巴疾病和代謝類疾病的治療效率和治療成本。”

Craig認為，這一次能夠?qū)?strong>MEMS技術(shù)應用到“拯救生命”的醫(yī)療設備上，相比之前的一些“比較酷”的應用，意義要大得多。Owl公司與IMT在2011年就簽訂協(xié)議，打算將Nanosorter技術(shù)以授權(quán)方式全球推廣。