除加速度計、陀螺儀等熱門的動作感測器外，MEMS元件開發(fā)商已開始將觸角延伸至其他領域，追求下一波成長高峰。以WiSpry為例，即是看好多頻多模射頻的市場趨勢，而投入創(chuàng)新MEMS元件的業(yè)者之一。  

借力RF MEMS技術實現(xiàn)軟體定義無線電 

隨著手機朝多模多頻發(fā)展，也為天線和RF射頻前端帶來更復雜的設計挑戰(zhàn)。WiSpry是成立于2002年的無晶圓RF業(yè)者，主要是透過整合RF CMOS與RF-MEMS技術開發(fā)一系列的可調(diào)諧(Tunable)RF解決方案，以達到軟體定義無線電(SDR)的目標。  

WiSpry總裁暨創(chuàng)辦人Jeffery Hilbert以蘋果iPhone 4上市時，因收訊不佳發(fā)生的「天線門」事件為例解釋，如果采用可調(diào)諧RF設計，就能夠透過軟體動態(tài)調(diào)整最適當?shù)腞F阻抗匹配，避免硬體式的固定設計架構(gòu)因不能配合使用環(huán)境，而無法達到理想收訊結(jié)果的情況發(fā)生。  

WiSpry的產(chǎn)品主要鎖定在400MHz到10GHz頻率范圍運作的多頻多模無線應用。它的RF-MEMS電路是采用標準CMOS制程，因此，理論上能在單一矽晶片上，將可調(diào)諧匹配前端和過濾器、天線匹配、可配置功率放大器等RF元件整合在一起，再透過軟體動態(tài)調(diào)諧的方式，來達到該公司提出的「單一無線、全球覆蓋(One World, One Radio)」愿景。  

Hilbert表示，全球智慧型手機銷售量到2020年，可望成長到二十八億支，對RF前端產(chǎn)品來說，將帶來龐大的商機。但是，目前RF前端的設計架構(gòu)，雖然已從傳統(tǒng)的分離式元件建置，朝整合性架構(gòu)發(fā)展，但仍無法克服日趨復雜的設計問題，而且常常必須妥協(xié)于RF效能。  

WiSpry已出貨的電容式陣列產(chǎn)品，是在8吋晶圓上，以0.18微米制程制造MEMS結(jié)構(gòu)，這是一個包含CMOS電路、MEMS的單晶片方案，可供多種可調(diào)諧RF產(chǎn)品之用(圖1)。  

目前，電容陣列的軟體演算法是內(nèi)建在基頻處理器中，因此需要與主要的基頻處理器業(yè)者合作，未來計畫以單獨的電路執(zhí)行運算。  

Hilbert指出，采用可調(diào)諧RF前端，可大幅簡化3G/4G手機設計，且以標準CMOS制程生產(chǎn)，不僅體積小，也更具有成本效益。同時，由于能動態(tài)調(diào)整，提升接收器靈敏度，有助于改善手機的資料傳輸率、通話品質(zhì)和電池壽命。  

現(xiàn)在，MEMS在智慧型手機上的應用已越來越廣泛，總計各種MEMS元件會占手機37美元的BOM成本。而WiSpry欲取代的RF前端，大概占1.53美元。  

目前，WiSpry已經(jīng)就緒的產(chǎn)品有可調(diào)諧數(shù)位電容陣列、阻抗匹配、過濾器，未來還將陸續(xù)開發(fā)天線、功率放大器、雙工器，預計到2014年，便可推出完整的可調(diào)諧RF前端。  

經(jīng)過多年努力，WiSpry自2007年首度推出產(chǎn)品以來，終于在2011年獲得一線手機業(yè)者的采用，并已于去年10月起開始大量出貨。Hilbert表示，隨著4G應用的興起，今年已取得多家設計訂單，對公司未來的業(yè)務成長深具信心。  

[!--empirenews.page--]力圖超越石英技術SiTime強推MEMS時序 

SiTime另一家開發(fā)創(chuàng)新MEMS元件的業(yè)者，于2005年從Bosch獨立出來，該公司試圖以其獨特的矽晶MEMS和類比技術改變傳統(tǒng)以石英材料為主的時序市場。  

SiTime執(zhí)行長Rajesh Vashist表示，時序元件是所有電子產(chǎn)品不可或缺的重要元件，一臺手機大概會用到二到四個時序元件、筆記型電腦會需要四到十個；近來興起的汽車電子市場，整輛車中更會用到十五至三十五個。  

據(jù)了解，包括共振器、振蕩器和時脈產(chǎn)生器，整個時序市場加起來約有60億美元的規(guī)模。而SiTime將以矽晶MEMS技術，推動這個市場的轉(zhuǎn)變。  

Vashist解釋，SiTime的時序元件包含兩個主要部分，分別是采用矽晶MEMS結(jié)構(gòu)的共振器，以及類比電路。透過整合MEMS和CMO??S制程技術，使得以矽晶材料作為振蕩器的概念能夠?qū)崿F(xiàn)。  

SiTime的晶圓代工伙伴，分別是負責CMOS制程的臺積電和MEMS制程的Tower-Jazz。Vashist強調(diào)，一片8吋矽晶圓，采用0.18微米制程，就可生產(chǎn)出高達七萬顆的矽晶振蕩器，在成本、尺寸、效能上都更有優(yōu)勢。  

目前，SiTime的MEMS振蕩器已廣泛用在多項主流產(chǎn)品，包括數(shù)位相機、電子書、家用電話、路由器、和智慧電表等。SiTime的營收就市場別來看，網(wǎng)通占14%、消費電子40%、運算/儲存21%，工業(yè)21%。  

同時，SiTime在今年四月宣布，其MEMS振蕩器、時脈產(chǎn)生器、共振器等元件的累積出貨量已達到一億顆，目前已有超過八百家業(yè)者，在一百多種應用中采用SiTime的矽晶MEMS時序解決方案。而且，自2006年以來，公司每年的出貨量都有一倍的成長。這三項產(chǎn)品SiTime均可提供，但以振蕩器為主，占營收的八成。Vashist表示，5年前該公司才推出新產(chǎn)品，從零開始，但現(xiàn)在已躋身前十大振蕩器供應商。  

5年來，SiTime持續(xù)開發(fā)新元件，讓產(chǎn)品組合日趨豐富，目前已有四十款產(chǎn)品，以及超過十萬種的型號。Vashist指出，與2007年的產(chǎn)品相比，SiTime元件的抖動效能已提升三百倍、穩(wěn)定度提升二百五十倍，可達到比石英更佳的可靠度。因此，MEMS-based振蕩器出貨量一定會超過傳統(tǒng)石英振蕩器，只是時間早晚罷了！