[導(dǎo)讀]在幾周前于美國舉行的感測器博覽會(Sensors Expo show and conference)上，X-FAB Silicon Foundries宣布兩大微機電系統(tǒng)( MEMS )業(yè)務(wù)里程碑：其MEMS及后CMOS處理專用的貴金屬生產(chǎn)線的完工，和第十億顆MEMS元件的裝運。
在幾周前于美國舉行的感測器博覽會(Sensors Expo show and conference)上，X-FAB Silicon Foundries宣布兩大微機電系統(tǒng)( MEMS )業(yè)務(wù)里程碑：其MEMS及后CMOS處理專用的貴金屬生產(chǎn)線的完工，和第十億顆MEMS元件的裝運。
這專為MEMS的生產(chǎn)線，擴展了X-FAB在德國愛爾福特現(xiàn)有MEMS的能力，和添加金屬沉積和陣列化的能力；該新生產(chǎn)線一年可以處理大約10萬片晶片，并將能應(yīng)付在迅速擴大中的消費性電子、手機和電腦市場的MEMS元件需求。擴展工作于2011年年底開始并于本月如期完成。完整的設(shè)備集也已安裝完畢并符合量產(chǎn)的條件。
X-FAB MEMS的產(chǎn)品線經(jīng)理Iain Rutherford表示：「新建置的貴金屬生產(chǎn)線，進一步證明我們對MEMS制造的承諾，加上我們較早的8吋MEMS能力，我們?yōu)榫A片制造提供更多附加價值。自1995年，我們已生產(chǎn)了十億個MEMS元件，其中包括陀螺儀、加速度感測器、壓力感測器、熱電堆和微流體設(shè)備，以及CMOS整合MEMS感測器和晶圓級封裝的元件給于消費性、汽車和醫(yī)療的應(yīng)用。添加新的微機電系統(tǒng)設(shè)施，反映我們?nèi)χг覀兛蛻粼谖C電系統(tǒng)、感測器和類比/混合訊號技術(shù)代工服務(wù)?！?/font>
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