沈陽(yáng)罕王集團(tuán)是中國(guó)東北的大型民營(yíng)鐵礦生產(chǎn)集團(tuán)，該公司已開(kāi)始為微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)興建一家大型晶圓廠。
罕王集團(tuán)打算生產(chǎn)慣性傳感器和硅膜麥克風(fēng)，這兩種產(chǎn)品在中國(guó)都有旺盛的需求。該公司也在討論生產(chǎn)胎壓傳感器和用于醫(yī)療應(yīng)用的微流體MEMS。中國(guó)目前生產(chǎn)的大量電子設(shè)備所使用的MEMS器件，幾乎全部需要進(jìn)口。由于沒(méi)有關(guān)稅和勞動(dòng)力成本較低，罕王MEMS器件的成本將低于進(jìn)口產(chǎn)品，因此應(yīng)該能夠在中國(guó)系統(tǒng)生產(chǎn)商中找到買家。

為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，罕王集團(tuán)成立了合資子公司Hanking Electronics Co. Ltd.，并聘請(qǐng)MEMS產(chǎn)業(yè)資深人士Doug Sparks擔(dān)任執(zhí)行副總裁幫助實(shí)施相關(guān)計(jì)劃。Sparks向總裁兼首席執(zhí)行官Lucy Huang報(bào)告。



晶圓廠2012年3月動(dòng)工興建，位于沈陽(yáng)以東40英里左右的撫順。Sparks表示，工廠將坐落在罕王MEMS工業(yè)園(HMIP)之中，道路已經(jīng)在2011年平整完畢。工業(yè)園位于撫順經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，占地約160英畝。

罕王計(jì)劃投資30億元人民幣(約4.75億美元)，分三個(gè)階段進(jìn)行開(kāi)發(fā)。Sparks表示，盡管初期準(zhǔn)備安裝200毫米晶圓生產(chǎn)設(shè)備，但廠房是為滿足“300毫米晶圓生產(chǎn)”建造的。他預(yù)測(cè)，將在幾年內(nèi)向生產(chǎn)300毫米MEMS晶圓過(guò)渡，目前MEMS領(lǐng)域還沒(méi)有一家廠商能夠生產(chǎn)300毫米晶圓。

Sparks表示，MEMS晶圓廠在第一階段，將能夠在2014年每月生產(chǎn)大約4000個(gè)200毫米初制晶圓。他說(shuō)，“我們將在2013年以前擁有后端處理制程，比如電鍍與蝕刻，再過(guò)一年可能就會(huì)擁有一切制程?！?br>
但Sparks并不十分擔(dān)心進(jìn)度拖延。他說(shuō)，罕王進(jìn)入MEMS領(lǐng)域是一項(xiàng)長(zhǎng)期計(jì)劃，而且資金充足。中國(guó)罕王控股有限公司是罕王集團(tuán)的附屬企業(yè)之一，2011年9月在香港上市，2011年凈利潤(rùn)為6.706億元人民幣，營(yíng)業(yè)收入為14.5億元人民幣(約合2.3億美元)。Sparks表示，整個(gè)集團(tuán)的年?duì)I業(yè)收入約為5.5億美元。


先代工，再采取IDM模式，同時(shí)引進(jìn)MUMPS？

Sparks表示，罕王希望最終成為MEMS IDM廠商，生產(chǎn)自有品牌的元件，不過(guò)屆時(shí)可能有70%的自有品牌業(yè)務(wù)和30%的代工業(yè)務(wù)。但是，在實(shí)現(xiàn)那一步之前，罕王最初可能需要向主要MEMS廠商提供代工服務(wù)。

Sparks表示，他一直在考慮與MEMS IDM廠商和代工廠商合作。如果能夠成為一家MEMS廠商的中國(guó)代工者，罕王就可以安裝“一模一樣”的設(shè)備，在為其生產(chǎn)產(chǎn)品的同時(shí)，也可以學(xué)到MEMS技術(shù)。Sparks表示，“我們一直在與幾家潛在的戰(zhàn)略伙伴談判，”但他拒絕透露具體的公司名稱。

Sparks表示，他也在與MEMS代工廠商Memscap SA (法國(guó)Bernin)接觸，準(zhǔn)備把MUMPS系統(tǒng)引入中國(guó)。MUMPS是標(biāo)準(zhǔn)化制程模組系統(tǒng)，可以讓不同的客戶共享晶圓面積，類似于CMOS中的多項(xiàng)目晶圓(MPW)方式。

MUMPS代表Multi-User MEMS Processes(多用戶MEMS工藝)，最初是1980年代在美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校開(kāi)發(fā)的一個(gè)項(xiàng)目，后來(lái)轉(zhuǎn)到了美國(guó)北卡羅菜納微電子中心 (MCNC)，并成為向研究人員提供MEMS流片服務(wù)的一個(gè)手段。該服務(wù)后來(lái)轉(zhuǎn)讓給了Cronos Integrated Microsystems Inc.，包括在北卡羅來(lái)納州三角研究園的一個(gè)晶圓廠。后來(lái)于2003年被Memscap收購(gòu)。Memscap利用該設(shè)施向客戶提供MEMS流片服務(wù)，然后投入批量生產(chǎn)。

Sparks表示，如果能夠使用這樣的低成本系統(tǒng)，中國(guó)許多小型公司可能對(duì)MEMS感興趣。罕王在美國(guó)克利夫蘭也設(shè)有辦事處。他說(shuō)，“我們已開(kāi)始在那里進(jìn)行一些設(shè)計(jì)工作，以啟動(dòng)這個(gè)項(xiàng)目?！?br>
Sparks還補(bǔ)充道，Hanking Electronics也考慮在無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)領(lǐng)域，并打算給中國(guó)的一些相關(guān)電子產(chǎn)品貼牌銷售，以此擴(kuò)大其銷售與市場(chǎng)基礎(chǔ)。

罕王并不是在中國(guó)建立MEMS工廠的第一家公司。1999年從模擬器件公司分拆出來(lái)的美國(guó)Memsic Inc.，在無(wú)錫建立了一家后端工廠，使用加工過(guò)的臺(tái)積電CMOS晶圓。

2011年10月接受Hanking Electronics的現(xiàn)有職務(wù)之前，Sparks曾在美國(guó)MEMS公司Integrated Sensing Systems Inc.工作過(guò)10年，再早在Delco從事汽車MEMS工作17年。Delco已更名為Delphi。

Sparks在Delphi期間，聘用了一名來(lái)自美國(guó)凱斯西儲(chǔ)大學(xué)(Case Western Reserve University)的中國(guó)碩士畢業(yè)生Lucy Huang，即Hanking Electronics的現(xiàn)任總裁兼首席執(zhí)行官。