半導(dǎo)體晶圓代工廠跨足微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)代工業(yè)務(wù)的比例已愈來愈高，包括臺積電、聯(lián)電、全球晶圓(GlobalFoundries)，甚至中國大陸中 芯半導(dǎo)體，都積極擴(kuò)大布局。市場研究機(jī)構(gòu)Yole Developpement認(rèn)為，盡管目前大多數(shù)MEMS元件仍由整合元件制造商(IDM)內(nèi)部自行生產(chǎn)，但隨著特殊MEMS元件代工需求的增加，半導(dǎo)體 業(yè)者未來在MEMS代工市場的重要性將日益顯著。