紐大全球450mm聯(lián)盟相中SOKUDO浸潤ArF微影Track技術
[導讀]根據(jù)美國商業(yè)資訊報導，大日本SCREEN制造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實，其子公司開發(fā)的SOKUDO DUO 450mm涂層/顯影系統(tǒng)(coat/develop track system)已被總部位于奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學
根據(jù)美國商業(yè)資訊報導，大日本SCREEN制造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實，其子公司開發(fā)的SOKUDO DUO 450mm涂層/顯影系統(tǒng)(coat/develop track system)已被總部位于奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)的全球450mm聯(lián)盟(G450C)相中，用于浸潤式ArF微影技術和定向自組裝(DSA)應用。
SOKUDO DUO將被嵌入位于CNSE的NanoFab Xtension內(nèi)由大日本SCREEN提供的成套450mm清洗設備中。大日本SCREEN提供的450mm晶圓刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統(tǒng)將部署在G450C計劃安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯?庫默(Andrew M. Cuomo)于2011年9月宣布設立的公私協(xié)力(public-private partnership, PPP)聯(lián)盟，旨在促進該產(chǎn)業(yè)向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯(lián)盟由CNSE聯(lián)合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和臺積電(TSMC)帶頭創(chuàng)立。
SOKUDO DUO擬采用與450mm浸潤式ArF微影系統(tǒng)一致的介面，并將于2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部，屆時將啟動所有安裝與參數(shù)特征化工作。此舉極力回應并支援2013年7月紐約州發(fā)布的一份公告，該公告計劃將于2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸潤式微影系統(tǒng)。值得注意的是，作為與G450C達成協(xié)議的一部分，SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track制程支援，從而實現(xiàn)450mm DSA圖案化測試晶圓制造用于G450C成員的開發(fā)設備。DSA圖形化功能也將整合到SOKUDO DUO中，用于輔助采用浸潤式ArF曝光的微影技術。
SOKUDO Co., Ltd.執(zhí)行長兼大日本SCREEN半導體設備公司總裁須原忠浩(Tadahiro Suhara)表示：「總部位于紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅，能夠與他們并肩合作我們感到十分高興。大日本SCREEN集團參與G450C專案的深度印證了我們在450mm半導體制造設備開發(fā)中的領導地位。尤其值得自豪的是該專案選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統(tǒng)，此舉將鞏固我們長期作為尖端track供應商的地位?！?br>
CNSE制造創(chuàng)新副總裁兼G450C總經(jīng)理Paul Farrar, Jr.,表示：「在安德魯?庫默州長的領導與宏偉愿景的指導下，紐約進一步成為產(chǎn)業(yè)向450mm晶圓技術實現(xiàn)關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本SCREEN的半導體設備公司繼續(xù)合作，并對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現(xiàn)重大轉變表示熱烈歡迎?！?br>
2013年7月，在美西半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO微影技術早餐論壇上曾揭露，SOKUDO DUO依比例增大的一種450mm完整晶圓已經(jīng)在大日本SCREEN制程技術中心（位于日本彥根市）的無塵室內(nèi)運作一年以上。SOKUDO是首批極力支援該聯(lián)盟的公司之一，其推出了各種450mm薄膜涂層的測試晶圓，包括用于實現(xiàn)450mm奈米壓印微影圖案化、DSA功能及參數(shù)特征化的黏附性涂層。
作為半導體設備的領導企業(yè)，大日本SCREEN和SOKUDO將繼續(xù)推出世界一流的產(chǎn)品，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出貢獻。
關于大日本SCREEN制造株式會社：大日本SCREEN成立于1943年，目前位居晶圓清洗與退火系統(tǒng)等半導體設備全球供應商前十大。多年以來，公司借助多年來開發(fā)的磁心映射處理、微影與清洗技術，包括涵蓋平面顯示器、印刷電路板和媒體技術方面的業(yè)務，其規(guī)模已得到進一步擴大。網(wǎng)址：www.screen.co.jp/eng/
關于SOKUDO Co., Ltd.：SOKUDO是大日本SCREEN旗下子公司，專注于開發(fā)半導體生產(chǎn)用的先進涂層/顯影系統(tǒng)。其系列產(chǎn)品廣泛用于各種微影應用（例如：i-line、KrF、浸潤式ArF、EUV、電子束），以及基板規(guī)格在50-450mm范圍內(nèi)的各種利基市場。網(wǎng)址：www.sokudo.com
關于紐約州立大學奈米科學與工程學院：紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)是新興奈米科學、奈米工程、奈米生物科學以及奈米經(jīng)濟學學科領域的全球一流學院。CNSE是由大學推動的全球頂尖研究型企事業(yè)單位，該學院擁有超過200億美元的高科技投資及300多家企業(yè)合作夥伴。占地130萬平方英尺的奧爾巴尼NanoTech megaplex是匯聚有逾3100名科學家、研究人員、工程師及師生的大本營。網(wǎng)址：www.sunycnse.com
圖片/多媒體資訊 : http://www.businesswire.com/multimedia/home/ 20140224007102/zh-HK/
聯(lián)絡方式：Charles Pieczulewski大日本SCREEN制造株式會社半導體設備公司策略業(yè)務規(guī)劃部副總經(jīng)理兼SOKUDO Co., Ltd.策略市場總監(jiān)charles@screen.co.jp電話+81-75-417-2670
SOKUDO DUO將被嵌入位于CNSE的NanoFab Xtension內(nèi)由大日本SCREEN提供的成套450mm清洗設備中。大日本SCREEN提供的450mm晶圓刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統(tǒng)將部署在G450C計劃安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯?庫默(Andrew M. Cuomo)于2011年9月宣布設立的公私協(xié)力(public-private partnership, PPP)聯(lián)盟，旨在促進該產(chǎn)業(yè)向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯(lián)盟由CNSE聯(lián)合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和臺積電(TSMC)帶頭創(chuàng)立。
SOKUDO DUO擬采用與450mm浸潤式ArF微影系統(tǒng)一致的介面，并將于2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部，屆時將啟動所有安裝與參數(shù)特征化工作。此舉極力回應并支援2013年7月紐約州發(fā)布的一份公告，該公告計劃將于2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸潤式微影系統(tǒng)。值得注意的是，作為與G450C達成協(xié)議的一部分，SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track制程支援，從而實現(xiàn)450mm DSA圖案化測試晶圓制造用于G450C成員的開發(fā)設備。DSA圖形化功能也將整合到SOKUDO DUO中，用于輔助采用浸潤式ArF曝光的微影技術。
SOKUDO Co., Ltd.執(zhí)行長兼大日本SCREEN半導體設備公司總裁須原忠浩(Tadahiro Suhara)表示：「總部位于紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅，能夠與他們并肩合作我們感到十分高興。大日本SCREEN集團參與G450C專案的深度印證了我們在450mm半導體制造設備開發(fā)中的領導地位。尤其值得自豪的是該專案選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統(tǒng)，此舉將鞏固我們長期作為尖端track供應商的地位?！?br>
CNSE制造創(chuàng)新副總裁兼G450C總經(jīng)理Paul Farrar, Jr.,表示：「在安德魯?庫默州長的領導與宏偉愿景的指導下，紐約進一步成為產(chǎn)業(yè)向450mm晶圓技術實現(xiàn)關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本SCREEN的半導體設備公司繼續(xù)合作，并對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現(xiàn)重大轉變表示熱烈歡迎?！?br>
2013年7月，在美西半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO微影技術早餐論壇上曾揭露，SOKUDO DUO依比例增大的一種450mm完整晶圓已經(jīng)在大日本SCREEN制程技術中心（位于日本彥根市）的無塵室內(nèi)運作一年以上。SOKUDO是首批極力支援該聯(lián)盟的公司之一，其推出了各種450mm薄膜涂層的測試晶圓，包括用于實現(xiàn)450mm奈米壓印微影圖案化、DSA功能及參數(shù)特征化的黏附性涂層。
作為半導體設備的領導企業(yè)，大日本SCREEN和SOKUDO將繼續(xù)推出世界一流的產(chǎn)品，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出貢獻。
關于大日本SCREEN制造株式會社：大日本SCREEN成立于1943年，目前位居晶圓清洗與退火系統(tǒng)等半導體設備全球供應商前十大。多年以來，公司借助多年來開發(fā)的磁心映射處理、微影與清洗技術，包括涵蓋平面顯示器、印刷電路板和媒體技術方面的業(yè)務，其規(guī)模已得到進一步擴大。網(wǎng)址：www.screen.co.jp/eng/
關于SOKUDO Co., Ltd.：SOKUDO是大日本SCREEN旗下子公司，專注于開發(fā)半導體生產(chǎn)用的先進涂層/顯影系統(tǒng)。其系列產(chǎn)品廣泛用于各種微影應用（例如：i-line、KrF、浸潤式ArF、EUV、電子束），以及基板規(guī)格在50-450mm范圍內(nèi)的各種利基市場。網(wǎng)址：www.sokudo.com
關于紐約州立大學奈米科學與工程學院：紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)是新興奈米科學、奈米工程、奈米生物科學以及奈米經(jīng)濟學學科領域的全球一流學院。CNSE是由大學推動的全球頂尖研究型企事業(yè)單位，該學院擁有超過200億美元的高科技投資及300多家企業(yè)合作夥伴。占地130萬平方英尺的奧爾巴尼NanoTech megaplex是匯聚有逾3100名科學家、研究人員、工程師及師生的大本營。網(wǎng)址：www.sunycnse.com
圖片/多媒體資訊 : http://www.businesswire.com/multimedia/home/ 20140224007102/zh-HK/
聯(lián)絡方式：Charles Pieczulewski大日本SCREEN制造株式會社半導體設備公司策略業(yè)務規(guī)劃部副總經(jīng)理兼SOKUDO Co., Ltd.策略市場總監(jiān)charles@screen.co.jp電話+81-75-417-2670
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