晶圓代工龍頭臺積電于法說會中再度上調(diào)2013年資本支出，一舉達(dá)到95億~100億美元，其中90%將用于先進(jìn)制程28、20與16奈米的產(chǎn)能，除了28奈米產(chǎn)能再增3倍以外，2014年首季將量產(chǎn)20奈米制程，16奈米制程產(chǎn)能更將提前1年開出，進(jìn)度可謂緊鑼密鼓。

臺積電積極開出先進(jìn)制程產(chǎn)能，首先受惠的即為材料代理商崇越、華立，崇越代理信越矽晶圓、深紫外光阻液等材料，特別是深紫外光阻液的出貨量隨著臺積電28奈米產(chǎn)能不斷成長，已成為崇越營收重要來源；華立代理的JSR光阻、化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)液等產(chǎn)品成功進(jìn)入臺積電20奈米制程指定供應(yīng)品，并加入16奈米finfet的研發(fā)，隨著臺積電加速轉(zhuǎn)進(jìn)20、16奈米腳步，華立半導(dǎo)體材料產(chǎn)品線成長動能也相當(dāng)強(qiáng)勁。

此外，前段制程設(shè)備如電子束檢測設(shè)備廠漢微科、離子植入機(jī)廠漢辰與代理商辛耘、帆宣等業(yè)者業(yè)績也可望水漲船高，漢微科的電子束檢測機(jī)臺將隨著制程微縮需求更加強(qiáng)勁，辛耘代理的非破壞性X射線光電子模厚元素量測機(jī)臺等產(chǎn)品同樣為必備設(shè)備；后段封測設(shè)備業(yè)者則有弘塑等，此外，辛耘的12寸晶圓再生服務(wù)也可望受惠臺積電12寸晶圓廠產(chǎn)能不斷開出而升溫。