臺積電將啟動20納米制程的裝機(jī)作業(yè)，漢微科、中砂、家登、閎康、辛耘、弘塑等本土設(shè)備廠供應(yīng)商也都上緊發(fā)條。其中，漢微科是電子束檢測獨(dú)家供應(yīng)商，今年更斥資10億元在南科設(shè)置新廠，預(yù)期明年可提升產(chǎn)能至目前的三倍。

由于20納米技術(shù)門檻拉升，臺積電的20納米制程鉆石碟及再生晶圓，中砂是唯一國內(nèi)供應(yīng)商。中砂因應(yīng)臺積電先進(jìn)制程產(chǎn)能未來的需求，今年將斥資6億至8億元擴(kuò)充產(chǎn)能，目前正在建置廠房，預(yù)計(jì)新產(chǎn)能明年會顯著貢獻(xiàn)業(yè)績。

辛耘在單晶旋轉(zhuǎn)機(jī)臺領(lǐng)域的布局，今年也由8寸前段制程跨足12寸后段制程領(lǐng)域，首座機(jī)臺預(yù)計(jì)下半年出貨，也是未來臺廠中唯一具備將單晶旋轉(zhuǎn)機(jī)臺打進(jìn)12寸前端制程領(lǐng)域條件的供應(yīng)商。

漢微科總經(jīng)理招允佳指出，來自客戶端的需求相當(dāng)強(qiáng)勁，對自家電子束檢測設(shè)備導(dǎo)入客戶應(yīng)用深具信心，所有主流12寸半導(dǎo)體廠都采用漢微科的電子束檢測設(shè)備。