據(jù)日本經(jīng)濟報Nikkei Shimbun報導(dǎo)，全球第二大步進機制造商Nikon Corp.正與英特爾 ( Intel )公司合作，開發(fā)下一代450mm 晶圓用制程設(shè)備。據(jù)報導(dǎo)，Nikon預(yù)計2018年可商品化。
有關(guān)英特爾將挹注多少資金來支援Nikon目前尚不清楚。據(jù)日本媒體報導(dǎo)，英特爾顯然已經(jīng)決定承擔(dān)數(shù)百億日圓的Nikon開發(fā)成本。
英特爾發(fā)言人Chuck Mulloy表示目前不就該報導(dǎo)發(fā)表評論。
七月初，英特爾甫收購ASML Holding NV公司15%股份，這項金額達41億美元的交易包含了加快超紫外光(EUV)微影技術(shù)的研發(fā)，以及其他朝450mm晶圓轉(zhuǎn)移的所需技術(shù)。
英特爾投資的41億美元中，約有21億美元是對ASML公司的股權(quán)投資，用于取得10%的ASML公司股份。該公司表示，在不久的將來也將以10億美元買下另外5%的ASML股份。
幾天前，代工巨擘臺積電(TSMC)也宣布以類似方法獲得ASML公司5%的股份。