臺積電董事長張忠謀7日表示，臺積電加入半導體設(shè)備廠艾司摩爾（ASML）客戶聯(lián)合投資專案，資助其研究發(fā)展，是「義不容辭」。

至于媒體追問，臺積電資本支出暴增是否會損及股東權(quán)益？張忠謀指出，臺積電對任何財務規(guī)畫都很保守，今年現(xiàn)金股利一定會保3。

中央社7日報導，臺積電5日宣布，加入ASML客戶聯(lián)合投資專案；根據(jù)協(xié)議，臺積電將投資ASML達8.38億歐元，取得ASML約5%股權(quán)，未來5年并將投入2.76億歐元，支持ASML的研發(fā)計劃。

張忠謀表示，ASML在EUV微影及浸潤式微影技術(shù)可說是獨領(lǐng)風騷，也是臺積電非常需要的，這次ASML邀請臺積電入股，資助其研究發(fā)展，臺積電「義不容辭」。

他說，何況，ASML以前研發(fā)表現(xiàn)出色，未來ASML股價上漲，臺積電也會同享其利。

臺積電執(zhí)行副總經(jīng)理暨共同營運長蔣尚義5日表示，臺積電挹注ASML研發(fā)經(jīng)費，將確保并加快EUV微影技術(shù)開發(fā)，同時提高既有光學微影工具效能，促進18寸晶圓制造技術(shù)的快速發(fā)展，將有助半導體業(yè)控制晶圓成本。