臺積電在微機電系統(tǒng)(MEMS)晶圓代工市場發(fā)展有成。IHS iSuppli最新研究指出，臺積電2011年MEMS晶圓代工營收達5,300萬美元，較2010年的1,760萬美元大增200%；不僅一躍成為全球專業(yè)MEMS晶圓代工市場龍頭，更是前五大業(yè)者中，唯一由半導體晶圓代工領域跨足投入的業(yè)者。