晶圓代工廠臺(tái)積電今天宣布，加入半導(dǎo)體設(shè)備廠艾司摩爾(ASML)客戶聯(lián)合投資專案，盼加速極紫外光(EUV)微影技術(shù)與18寸晶圓微影設(shè)備開發(fā)及量產(chǎn)。

為讓關(guān)鍵微影技術(shù)發(fā)展順利，且加速進(jìn)行，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備廠ASML于7月9日宣布展開客戶聯(lián)合投資專案，邀請(qǐng)英特爾(Intel)、臺(tái)積電及三星(Samsung)3大廠參加。
英特爾率先決定參與ASML客戶聯(lián)合投資專案，臺(tái)積電董事長暨總執(zhí)行長張忠謀于7月法人說明會(huì)后記者會(huì)時(shí)曾表示，臺(tái)積電并沒有感到壓力，不會(huì)被迫投資ASML。
臺(tái)積電當(dāng)時(shí)仍在審慎評(píng)估中，張忠謀說，臺(tái)積電若決定投資ASML，將主要是基于希望加速EUV發(fā)展考量。
經(jīng)過近1個(gè)月評(píng)估，臺(tái)積電今天宣布，加入ASML客戶聯(lián)合投資專案；根據(jù)協(xié)議，臺(tái)積電將投資ASML達(dá)8.38億歐元，取得ASML約5%股權(quán)，未來5年并將投入2.76億歐元，支持ASML的研發(fā)計(jì)劃。
臺(tái)積電執(zhí)行副總經(jīng)理暨共同營運(yùn)長蔣尚義表示，如何有效控制日益攀升的晶圓制造成本，是縮小積體電路尺寸面臨的最大挑戰(zhàn)之一。
蔣尚義說，臺(tái)積電挹注ASML研發(fā)經(jīng)費(fèi)，將確保并加快EUV微影技術(shù)開發(fā)，同時(shí)提高既有光學(xué)微影工具效能，促進(jìn)18寸晶圓制造技術(shù)的快速發(fā)展，將有助半導(dǎo)體業(yè)控制晶圓成本。