利用光刻法形成的銀布線圖案的樣品（點(diǎn)擊放大）

觸摸面板光刻銀膠的介紹展板（點(diǎn)擊放大）
日本太陽(yáng)油墨在“第三屆尖端電子材料EXPO“（1月18～20日，東京有明國(guó)際會(huì)展中心）”上展出了用于靜電容量式觸摸面板布線材料的光刻銀膠。該公司此次公開(kāi)的布線圖案樣品實(shí)現(xiàn)了20μm/20μm線寬/線間距（L/S），電阻率為5.0×10－5Ω?cm。

智能手機(jī)等普遍使用的靜電容量式觸摸面板對(duì)縮小面板周圍區(qū)域的窄邊框化有很強(qiáng)需求。在這種情況下，就要求縮小布線寬度和布線間隔。形成靜電容量式觸摸面板的布線及電極時(shí)一般使用絲網(wǎng)印刷法，但使用這種方法的話，目前很難將線寬/線間隔縮小至50μm/50μm以下。太陽(yáng)油墨提出的光刻法，突破了這一界限。

利用光刻法的布線圖案制造工序如下：首先在基材上平板狀印刷銀膠并使之干燥；接著使用掩模曝光、顯影，形成布線圖案；最后實(shí)施熱處理。由于熱處理溫度只需130℃，因此可在PET薄膜上形成布線圖案。

另外，在窄間距布線形成方法中，還有利用濺鍍法形成金屬薄膜，然后使用刻蝕膠形成圖案的方法。但太陽(yáng)油墨表示，光刻法與之相比“工序較短，因此更有利于制造”。（記者：田中 直樹(shù)，Tech-On?。?