Rorze首次展出支持4個端口的450mm晶圓搬運機(jī)器人
[導(dǎo)讀]Rorze支持4個端口的450mm晶圓搬運機(jī)器人在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上首次展出。該機(jī)器人可使支持4個端口的制造裝置開發(fā)變得容易,有助于削減成本及提高可靠性。
此前的
Rorze支持4個端口的450mm晶圓搬運機(jī)器人在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上首次展出。該機(jī)器人可使支持4個端口的制造裝置開發(fā)變得容易,有助于削減成本及提高可靠性。
此前的450mm晶圓搬運機(jī)器人只支持3個端口。因此,要使制造裝置支持4個端口,就需要或配置2臺機(jī)器人,或在機(jī)器人的下方安裝移動機(jī)構(gòu)等。但這樣會增加部件個數(shù),從而導(dǎo)致成本增高,整個裝置的可靠性也容易降低。而此次的機(jī)器人為支持4個端口的寬度而擴(kuò)大了機(jī)械臂的長度。并且,還由控制軟件的改進(jìn)提高了工作速度;通過機(jī)械臂的高剛性化等機(jī)器人構(gòu)造的調(diào)整,使其可同時抓取2枚晶圓;并通過雙指縮短了抓取時間等,提高了生產(chǎn)效率。(記者:長廣 恭明,Tech-On





