實現(xiàn)了1級無塵標準（點擊放大）

氣流的直進性高（點擊放大）
只在周圍設置簡易防風墻等即可實現(xiàn)無塵室的“FLOORKOACHE Ez”達到1級無塵標準，興研在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張MESSE國際會展中心）會場上演示了1級無塵室。該公司在以前的Semicon會議上也展示過FLOORKOACHE Ez，但此次以達到1級無塵標準為契機，決定在會場上設置特大規(guī)模的無塵室以作宣傳。

半導體生產(chǎn)線的無塵室通常采用令空氣從房間上部向下部流動的垂直層流方式，設置用于向房間上部輸送空氣的風扇和過濾空氣污物的濾網(wǎng)，而且為了防止前后左右的墻壁面上產(chǎn)生的污物進入重直層流，還要注意壁面材料的選擇。因此，無塵室設置大多需要花費數(shù)十億日元。

而FLOORKOACHE Ez可以橫向壓出的氣流來實現(xiàn)無塵環(huán)境。而且，據(jù)稱該氣流的直進性極高，因此壁面產(chǎn)生的污物等不易進入氣流，因而無需對壁面采取特殊措施。具體而言，在前后左右四面中的一面設置FLOORKOACHE Ez，在左右面和上面設置簡易墻壁及天花板，防止打亂氣流的風等進入，并配備可使氣流從對抵抗面的兩側等排出的設施，便可實現(xiàn)無塵環(huán)境。實際上，會場上的無塵室是通過在金屬架上粘貼克力板之類的透明板構成墻壁及天花板的。這樣便可低成本實現(xiàn)無尖室，比如能夠用6500萬日元將7m×20m×2.7m的空間打造成無塵室。而且設置工期也只需不到一周時間。

此次能夠將無塵級別從原來的5級提高到1級，是因為開發(fā)出了名為“FERENA-ZE”的濾網(wǎng)組件。據(jù)介紹該濾網(wǎng)同時實現(xiàn)了與HEPA濾網(wǎng)相當?shù)膲簱p和與ULPA比肩的捕集性能。通過在FLOORKOACHE Ez中采用該濾網(wǎng)，實現(xiàn)了1級無塵標準。為了開發(fā)該濾網(wǎng)，興研使用了稱為“靜電紡絲（Electrospinning）”的技術。（記者：長廣 恭明，Tech-On?。?