SS-3200（攝影：大日本網(wǎng)屏制造）（點(diǎn)擊放大）
大日本網(wǎng)屏制造（DNS）開發(fā)出了處理速度為800枚/小時(shí)的單葉式晶圓清洗裝置“SS-3200”。這是一款用軟刷和純水對(duì)晶圓進(jìn)行物理清洗的擦洗（Scrubber ）式清洗裝置。

據(jù)大日本網(wǎng)屏制造介紹，SS-3200新開發(fā)出了可高速搬運(yùn)晶圓的機(jī)構(gòu)，同時(shí)控制程序也煥然一新，由此在不增加清洗處理單元（反應(yīng)室）數(shù)量的情況下，實(shí)現(xiàn)了約相當(dāng)于原來2倍的800枚/小時(shí)的實(shí)際處理能力。而且還繼承了現(xiàn)有“SS-3100”中獲得高度評(píng)價(jià)的工藝性能和8個(gè)反應(yīng)室構(gòu)成等，同時(shí)支持半導(dǎo)體器件的微細(xì)化和立體構(gòu)造化。

另外，大日本網(wǎng)屏制造預(yù)定在2011年12月7日～12月9日于幕張Messe會(huì)展中心舉行的“SEMICON Japan 2011”上展出這款新產(chǎn)品。將從2011年12月開始銷售。（記者：赤坂 麻實(shí)，Tech-On?。?