本報(bào)訊 （記者 徐瑞哲）昨天，位于上海張江的華力微電子無人化廠房?jī)?nèi)，一條12英寸全自動(dòng)芯片線上，首批55納米工藝產(chǎn)品順著軌道進(jìn)入流水線，開始試流片。這標(biāo)志著總投資135億元的“909”工程升級(jí)改造項(xiàng)目，歷經(jīng)短短16個(gè)月，已建成第一條國(guó)資控股、超大規(guī)模的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，驗(yàn)收后將跨入更高工藝級(jí)別。

顯微鏡下，一片鍋蓋大小的“晶圓”，集成排布著萬千枚芯片。當(dāng)今集成電路業(yè)界，高端“晶圓”直徑漸大，可達(dá)12英寸，約30厘米；同時(shí)，代表芯片刻制細(xì)密程度的“線寬”漸小，可達(dá)45納米以下，即不到0.045微米。專家介紹，一片晶圓從8英寸放大到12英寸，直徑增加50%，單位面積上可產(chǎn)出的芯片數(shù)量則增加100%，技術(shù)能級(jí)翻番，規(guī)模效應(yīng)顯著。

“909”工程始于上世紀(jì)90年代第九個(gè)五年計(jì)劃，是國(guó)家發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)工程的代稱。工程建有一條超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線，從8英寸、0.5微米技術(shù)起步，月加工2萬片“晶圓”。這條線現(xiàn)由上海華虹集團(tuán)所屬企業(yè)運(yùn)營(yíng)，月產(chǎn)能已達(dá)8.6萬片。 “909”工程升級(jí)改造于去年初啟動(dòng)，由上海華力微電子有限公司建設(shè)運(yùn)營(yíng)，工藝級(jí)別為“90、65、45納米”，月產(chǎn)3.5萬片。新線投運(yùn)后，上海國(guó)資控股的集成電路企業(yè)將形成 “12英寸+8英寸”這一國(guó)際主流的芯片制造格局，制造大量國(guó)內(nèi)急需的高端集成電路，并具備承擔(dān)和支撐國(guó)家“核高基”重大科技專項(xiàng)的能力。
據(jù)了解，上海作為國(guó)家級(jí)微電子產(chǎn)業(yè)基地、國(guó)家級(jí)集成電路研發(fā)中心所在地，是國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)集聚度和配套程度最高的地區(qū)之一。

全市現(xiàn)有4英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格的10余條生產(chǎn)線，但此前僅有一條用于研發(fā)的12英寸小產(chǎn)量線。這條12英寸量產(chǎn)線在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)高效率生產(chǎn)，其硅片搬運(yùn)系統(tǒng)由3246米軌道和100臺(tái)搬運(yùn)小車組成，每小時(shí)能完成1400多項(xiàng)搬運(yùn)指令，抵得上一個(gè)班次300多號(hào)人力。

市經(jīng)濟(jì)和信息化委透露，新生產(chǎn)線將主要面向國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，計(jì)劃一半以上產(chǎn)能滿足內(nèi)需，加強(qiáng)我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)芯片供應(yīng)的自主可控。運(yùn)營(yíng)方華力微電子已提交142項(xiàng)工藝專利申請(qǐng)，全年計(jì)劃完成500項(xiàng)專利申請(qǐng)，今年第四季度開始45納米產(chǎn)品的工藝研發(fā)。

作者：徐瑞哲來源解放日?qǐng)?bào))