本報訊 （記者 徐瑞哲）昨天，位于上海張江的華力微電子無人化廠房內(nèi)，一條12英寸全自動芯片線上，首批55納米工藝產(chǎn)品順著軌道進入流水線，開始試流片。這標志著總投資135億元的“909”工程升級改造項目，歷經(jīng)短短16個月，已建成第一條國資控股、超大規(guī)模的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，驗收后將跨入更高工藝級別。

顯微鏡下，一片鍋蓋大小的“晶圓”，集成排布著萬千枚芯片。當今集成電路業(yè)界，高端“晶圓”直徑漸大，可達12英寸，約30厘米；同時，代表芯片刻制細密程度的“線寬”漸小，可達45納米以下，即不到0.045微米。專家介紹，一片晶圓從8英寸放大到12英寸，直徑增加50%，單位面積上可產(chǎn)出的芯片數(shù)量則增加100%，技術(shù)能級翻番，規(guī)模效應(yīng)顯著。

“909”工程始于上世紀90年代第九個五年計劃，是國家發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)重點工程的代稱。工程建有一條超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線，從8英寸、0.5微米技術(shù)起步，月加工2萬片“晶圓”。這條線現(xiàn)由上海華虹集團所屬企業(yè)運營，月產(chǎn)能已達8.6萬片。 “909”工程升級改造于去年初啟動，由上海華力微電子有限公司建設(shè)運營，工藝級別為“90、65、45納米”，月產(chǎn)3.5萬片。新線投運后，上海國資控股的集成電路企業(yè)將形成 “12英寸+8英寸”這一國際主流的芯片制造格局，制造大量國內(nèi)急需的高端集成電路，并具備承擔和支撐國家“核高基”重大科技專項的能力。
據(jù)了解，上海作為國家級微電子產(chǎn)業(yè)基地、國家級集成電路研發(fā)中心所在地，是國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)集聚度和配套程度最高的地區(qū)之一。

全市現(xiàn)有4英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格的10余條生產(chǎn)線，但此前僅有一條用于研發(fā)的12英寸小產(chǎn)量線。這條12英寸量產(chǎn)線在國內(nèi)率先實現(xiàn)全自動高效率生產(chǎn)，其硅片搬運系統(tǒng)由3246米軌道和100臺搬運小車組成，每小時能完成1400多項搬運指令，抵得上一個班次300多號人力。

市經(jīng)濟和信息化委透露，新生產(chǎn)線將主要面向國內(nèi)市場，計劃一半以上產(chǎn)能滿足內(nèi)需，加強我國信息產(chǎn)業(yè)芯片供應(yīng)的自主可控。運營方華力微電子已提交142項工藝專利申請，全年計劃完成500項專利申請，今年第四季度開始45納米產(chǎn)品的工藝研發(fā)。

作者：徐瑞哲來源解放日報)