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[導(dǎo)讀]「我們用新的技術(shù)讓LKK的機(jī)臺,達(dá)到最先進(jìn)的制程技術(shù)效能!」清華大學(xué)材料科學(xué)工程系助理教授闕郁倫領(lǐng)導(dǎo)研究團(tuán)隊(duì),參與臺美跨國合作計(jì)劃,領(lǐng)先全球成功把化合物半導(dǎo)體整合于現(xiàn)階段硅晶圓制程技術(shù),利用二百奈米骨

「我們用新的技術(shù)讓LKK的機(jī)臺,達(dá)到最先進(jìn)的制程技術(shù)效能!」清華大學(xué)材料科學(xué)工程系助理教授闕郁倫領(lǐng)導(dǎo)研究團(tuán)隊(duì),參與臺美跨國合作計(jì)劃,領(lǐng)先全球成功把化合物半導(dǎo)體整合于現(xiàn)階段硅晶圓制程技術(shù),利用二百奈米骨董級機(jī)臺,將現(xiàn)有半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)從四十奈米推進(jìn)到仍處于先期研究的廿二奈米制程。

清華大學(xué)校長陳力俊推崇闕郁倫,「闕教授是由清大材料系從大學(xué)部到博士班培育的本土教授。闕教授做研究很有創(chuàng)意,是清大材料系創(chuàng)立廿幾年來,第一次聘請系上畢業(yè)的學(xué)生當(dāng)教授。」他念博士班時(shí),獲國科會「千里馬計(jì)劃」補(bǔ)助,到美國喬治亞理工學(xué)院進(jìn)修;取得博士學(xué)位后,又到加州大學(xué)柏克萊分校做研究。

清華大學(xué)研發(fā)長果尚志強(qiáng)調(diào),這項(xiàng)研究最大突破是將兩種不同材料結(jié)合在一起,用非常簡單和便宜的方法,把化合物半導(dǎo)體(砷化銦)轉(zhuǎn)移到硅基基板上,取代傳統(tǒng)的硅晶圓。闕郁倫指出,硅基半導(dǎo)利用電子傳輸,化合物半導(dǎo)體則是利用光子傳輸,速率比電子快一百倍以上,「各種三C產(chǎn)品未來若利用我們研發(fā)的高效能光電半導(dǎo)體當(dāng)材料,不但指令周期提高,儲存容量明顯提升,制程簡單,成本大幅降低?!?

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