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[導讀]「我們用新的技術讓LKK的機臺,達到最先進的制程技術效能!」清華大學材料科學工程系助理教授闕郁倫領導研究團隊,參與臺美跨國合作計劃,領先全球成功把化合物半導體整合于現階段硅晶圓制程技術,利用二百奈米骨

「我們用新的技術讓LKK的機臺,達到最先進的制程技術效能!」清華大學材料科學工程系助理教授闕郁倫領導研究團隊,參與臺美跨國合作計劃,領先全球成功把化合物半導體整合于現階段硅晶圓制程技術,利用二百奈米骨董級機臺,將現有半導體生產技術從四十奈米推進到仍處于先期研究的廿二奈米制程。

清華大學校長陳力俊推崇闕郁倫,「闕教授是由清大材料系從大學部到博士班培育的本土教授。闕教授做研究很有創(chuàng)意,是清大材料系創(chuàng)立廿幾年來,第一次聘請系上畢業(yè)的學生當教授。」他念博士班時,獲國科會「千里馬計劃」補助,到美國喬治亞理工學院進修;取得博士學位后,又到加州大學柏克萊分校做研究。

清華大學研發(fā)長果尚志強調,這項研究最大突破是將兩種不同材料結合在一起,用非常簡單和便宜的方法,把化合物半導體(砷化銦)轉移到硅基基板上,取代傳統(tǒng)的硅晶圓。闕郁倫指出,硅基半導利用電子傳輸,化合物半導體則是利用光子傳輸,速率比電子快一百倍以上,「各種三C產品未來若利用我們研發(fā)的高效能光電半導體當材料,不但指令周期提高,儲存容量明顯提升,制程簡單,成本大幅降低?!?

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