FD SOI與FinFET的先進節(jié)點之戰(zhàn)
“SOI技術高峰論壇”于2013年10月中旬在上海舉辦，重點討論了FD SOI的現(xiàn)狀和前景。中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所所長、中國科學院院士、本次會議的聯(lián)席主席王曦主持了論壇。
FD SOI的核心：滿足智能手持設備的需求
FD SOI支持者們經常問的一個問題是：在不久的將來，什么工藝技術可以更好地滿足諸如智能手機、平板電腦等超大市場規(guī)模智能手持設備應用的持續(xù)發(fā)展？這些應用呈現(xiàn)的趨勢是價格下降、功耗下降而性能不斷提高，相應地對內部使用的集成電路，尤其是超高集成度的IC，提出了相同的要求。
按照IBS主席和CEO Handel Jones在“SOI技術高峰論壇”上的闡述，幾年前推出的FD SOI當時被忽略而現(xiàn)在開始被重視的主要原因就在于此：能更好的為智能手機等應用提供可持續(xù)性的技術支持。
他認為Intel16/14nm FinFET 與20nm體硅CMOS相比看不出明顯面積降低?！霸摴?jié)點技術是否能成為主流技術可能會受到中國用戶的影響，”在他分析完中國已成為移動電話、電腦、電視、數字相機的主要生產國后表示，“同時，未來的7nm和10nm技術可能更多地應用于高性能服務器等領域，而對于移動電話應用，F(xiàn)inFET不一定是28nm或者20nm 以下唯一的解決方案，更不一定是最好的解決方案?！?
FD SOI的優(yōu)勢到底在哪里？
首先，從SOI的物理結構來看，其硅+絕緣層+硅襯底的形態(tài)決定了可以減小器件的寄生電容，減小漏電，從而降低功耗并提高器件的性能。
而FD SOI由于其頂層的硅層厚度減薄至5-10nm，進一步提高了整體的性能，但同時也增加了晶圓的制造難度。
其次，是制造成本。相對于上述的基本原理來講，這一點更是業(yè)界所討論的熱門話題。
圖1給出了基于體硅CMOS和FinFET工藝技術的每百萬門的成本，清晰的呈現(xiàn)出若采用這些工藝，從20nm節(jié)點開始，成本開始出現(xiàn)不降反升的局面。這一點，已得到半導體產業(yè)鏈的廣泛認同。
圖1：體硅CMOS和FinFET成本分析圖。
“FD SOI在28nm具有成本競爭性，而在20nm節(jié)點上則具有成本優(yōu)勢。”Jones總結到。
圖2是28nm和20nm體硅HKMG和FD SOI，以及16/14nm FinFET晶圓制成品的成本分析：
圖2：不同工藝節(jié)點兩種工藝的晶圓制成品成本分析。
值得注意的是他在現(xiàn)場分析的另外5張晶圓制成品成本的細分圖(圖3、4、5、6、7)。FD SOI裸晶圓的成本由28nm至20nm一直保持在500美元/片，而體硅裸晶圓的成本盡管有微小變化，但價格基本穩(wěn)定在128美元/片左右。
受惠于FD SOI仍然采用平面架構，隨著時間的推移，其價格優(yōu)勢從設備折舊、維護等領域開始逐漸體現(xiàn)。這是FD SOI具備成本優(yōu)勢和持續(xù)發(fā)展性的關鍵所在。
圖3：28nm FD SOI晶圓成本細分圖，裸晶圓成本為500美元。
圖4：28nm體硅金屬柵極（BULK HKMG）CMOS晶圓成本細分圖
成本、成本、還是成本
這成為本峰會討論的熱點之一。
業(yè)界的一種支持聲音來源于FD SOI可以有效地延長被認為是主流節(jié)點的28nm平面工藝的生命周期。
“FD SOI晶圓的成本應該從目前的500美元/片降至380美元/片，甚至更低?！蔽錆h新芯集成電路制造有限公司CEO楊士寧博士在其演講中呼吁到。
而作為FD SOI晶圓的主要供應商之一的Soitec公司的全球商業(yè)戰(zhàn)略開發(fā)高級副總裁Steve Longoria回應到：盡管受FD SOI超薄硅層的限制，降低該晶圓的價格有難度，但Soitec愿意與中國企業(yè)合作降低晶圓的成本。
從業(yè)界的角度看，F(xiàn)D SOI晶圓的制造難度受其硅層厚度一致性誤差的嚴格要求，成本在短時間內實現(xiàn)大幅下降挑戰(zhàn)巨大，但同樣重要的另一個因素是對FD SOI晶圓的需求量，量大則會帶動晶圓成本的下降。
“工藝技術在不斷發(fā)展，對于更先進的節(jié)點，現(xiàn)在我們并不確定在某一節(jié)點上技術會如何發(fā)展，而當我們更關注成本和性能時就需要新的思路。對于移動手機等應用，從功耗和成本上看，需要FD SOI技術。”IBS的Jones一直在堅持他的觀點。
圖5：20nm FD SOI晶圓成本細分圖
圖6：20nm體硅金屬柵極（BULK HKMG）CMOS晶圓成本細分圖
FD SOI和FinFET的關系
“我認為其是互補關系，”IBM是SOI技術的主要倡導者之一，該公司首席技術專家Rama Divakaruni明確表示，“工藝發(fā)展路線圖很重要的一個因素是價格，但在這方面，通常經過2、3年的爭論后必定平穩(wěn)，但我們必須要有一些預測，也許有風險。一些破壞性的創(chuàng)新通常在下一個10年中取得重大進展?！?
但他同時也承認在與一些代工廠的溝通中，部分企業(yè)沒有足夠的資源同時做兩個工藝。從這個角度上看，競爭關系應該更準確。
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圖7：16/14nm FINFET晶圓成本細分圖
3D時代的可持續(xù)性？
那么，當工藝節(jié)點不得不走入3D時代時，F(xiàn)D SOI是否又具有可持續(xù)發(fā)展性？
圖8是Divakaruni演示的一張分別采用體硅絕緣層和氧化絕緣層的示意圖。很明顯地，氧化絕緣層架構更加完整地呈現(xiàn)出矩形的結構，也就是說，更能發(fā)揮出3D半導體架構的性能優(yōu)勢。
圖8：不同絕緣層的結構圖分析。
這種架構可以延伸到包括14nm、10nm和7nm的SOI FinFET路線圖，盡管他們目前基本還處于預研階段。
IBM的研究結果證實了SOI FinFET至少可延伸至7nm節(jié)點，而EUV將成為7nm節(jié)點的更大挑戰(zhàn)。
“FD SOI的一個顯著的優(yōu)勢在于它可以以很低的風險將平面制造工藝由28nm延長至14nm節(jié)點甚至10nm?！盨oitec的Longoria說，“FinFET結構將從FD SOI襯底獲得益處。”從他的觀點來看，采用FD SOI技術，業(yè)界就不需要太過匆忙地轉向3D架構。
來自SEH先進晶圓技術和發(fā)展部常務副總經理Nobuhiko Noto則分享了SOI晶圓硅層厚度一致性誤差的變化圖（圖9）。
圖中顯示，當進入到Fin SOI時代，其制造誤差余量將為±1.5nm，大大優(yōu)于FD SOI時代的±0.5nm。也就是說，晶圓制造的難度會有所降低。
圖9：SOI晶圓硅層厚度余量的變化。
中國代工業(yè)的機遇？
這實際上是本次高峰論壇的核心。
STMicroelectronics是全面采用FD SOI工藝的代表企業(yè)，其部分產品也通過GlobalFoundries采用FD SOI工藝代工，生產面向移動電話應用的微處理器等產品。業(yè)界普遍認為也正是因為這點，使該公司具備了發(fā)展其業(yè)務的核心點。該公司的代表認為工藝由2D不得不轉至3D的節(jié)點應該在7nm，而在14nm和10nm，平面工藝仍會繼續(xù)存在。
戴偉民博士，芯原股份有限公司董事長兼總裁，本次會議的聯(lián)席主席主持了圓桌論壇環(huán)節(jié)。該公司也是“SOI技術高峰論壇”的三家主辦單位之一，另兩家分別是SOI產業(yè)聯(lián)盟和中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所。
作為本土代工企業(yè)的代表，中芯國際（SMIC）的舉動一定會在公眾的視線之中?！拔覀冏罱M行了4個月有關SOI技術的比較，在28nm和20nm上與IBS分享的數據相近，”中芯國際技術研發(fā)執(zhí)行副總裁李序武表示，“FD SOI是具有發(fā)展?jié)摿Φ募夹g。突破點在于用戶是否接受？另一個問題是IP。成本和可制造性我們更加關注?！?
“FD SOI的發(fā)展不僅僅只關于性能、功耗，還涉及到資本市場，因為還具有一定的風險性。如果SMIC開發(fā)FD SOI工藝，也需要本土Fabless廠商同等的承諾，承擔一定的風險，”他說到，“SMIC并不是一定要先得到合同，也可以提前行動。”
來自中國科學院微電子研究所的閆江則拋出了另一個問題和答案。“誰會先行動？第三方會先行動。這是個復雜的項目，對于中國來說是個很好的項目，因為我們在這上需要冒險，”他陳述到，“誰是第三方？中央政府或是地方政府?！?
魏少軍教授，中國半導體01項目組組長、中國半導體設計分會理事長，是參與本高峰論壇的重量級嘉賓之一。
“應該從用戶的角度上來看這個問題。目前，國內Fabless對工藝的支持不夠，受境外的影響較大。Intel開發(fā)FinFET用了18年，目前看有3至4個季度的延遲，到時FinFET的產能有限，”他強調到，“5年內國內Fabless可能難獲得先進FinFET節(jié)點產能。同時，晶圓廠應該教育Fabless，提供先進的技術?！?
他并沒有直接參與到圓桌論壇中，但現(xiàn)場向來自海思、大唐等與會IC設計公司代表發(fā)問：“什么是風險？是到時有些代工廠無法支持你們所需要的產能。”
來自SOI聯(lián)盟的執(zhí)行董事、本次會議的聯(lián)席主席Horacio Mendez更像是給與會者吃定心丸。“我們需要差異化，但又不能太冒風險。STMicroelectronics的技術突破使FD SOI的應用更加成熟。”他說到，“目前，來自全球的三個主要SOI晶圓供應商可提供100萬片晶圓，在一年內可增加至200萬片，供應上沒有問題?！?
FD SOI是否會成為中國代工業(yè)的重大機遇？暫時還沒有答案。如何營造中國FD SOI生態(tài)鏈將決定其發(fā)展命運。
“FD SOI與FinFET并不對立。FD SOI是2D 全耗盡技術而FinFET是3D全耗盡技術。ST已經證明了FD SOI 28nm在智能手機應用處理器上與體硅CMOS 20nm 相比在性能和功耗上的優(yōu)勢，以及FD SOI 14nm在今后兩年內的可行性。IBM也展示了FinFET on SOI 與FinFET on bulk相比在成本上的優(yōu)勢。FD SOI將為FinFET on SOI開道鋪路。FD SOI和FinFET on SOI可能會成為中國芯片代工業(yè)和智能手機/平板電腦產業(yè)彎道超車的歷史機遇。”這是戴偉民的觀點。
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