東芝公司(ToshibaCorporation)和NipponDennoCo.,Ltd.日前宣布開發(fā)一種自動(dòng)中止與關(guān)閉系統(tǒng)，可在發(fā)生地震時(shí)，關(guān)閉半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。該系統(tǒng)已從2013年2月起在東芝旗下子公司—東芝巖手電子公司(IwateToshibaElectronics)投入使用。東芝打算進(jìn)一步完善該系統(tǒng)，并將之推向市場(chǎng)。
該系統(tǒng)可檢測(cè)到主要的地震波，然后在主沖擊波來(lái)襲前的十秒內(nèi)關(guān)閉生產(chǎn)設(shè)備。該系統(tǒng)利用了東芝的半導(dǎo)體制造與生產(chǎn)設(shè)備知識(shí)以及NipponDenno的自動(dòng)操作控制技術(shù)。
該系統(tǒng)可同時(shí)安全地控制多達(dá)20種不同設(shè)備的中止與關(guān)閉。它可降低地震帶來(lái)的損壞風(fēng)險(xiǎn)，減少恢復(fù)所需的時(shí)間與成本。舉例來(lái)說，采用該系統(tǒng)可將平板印刷設(shè)備的恢復(fù)時(shí)間減少一半。
東芝將向半導(dǎo)體晶圓廠和其他工業(yè)設(shè)施銷售該系統(tǒng)，并將根據(jù)在應(yīng)對(duì)東日本大地震時(shí)所積累的專業(yè)知識(shí)繼續(xù)改善晶圓廠的抗災(zāi)運(yùn)轉(zhuǎn)能力。