目前MEMS市場的主導(dǎo)產(chǎn)品為壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅(qū)動頭等。大多數(shù)工業(yè)觀察家預(yù)測，未來5年MEMS器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為18%，營收的復(fù)合年增長率約為20%，出貨量的復(fù)合年增長率約為13%，到2017年全球MEMS市場規(guī)模可達210億美元。對機械電子工程、精密機械及儀器、半導(dǎo)體物理等學(xué)科的發(fā)展提供了極好的機遇和嚴峻的挑戰(zhàn)。（責(zé)編：Anna）