中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司在不到三年的時(shí)間內(nèi)共實(shí)施了35個(gè)清潔生產(chǎn)項(xiàng)目，靠清潔生產(chǎn)每年能“撿”到886.3萬(wàn)元的經(jīng)濟(jì)效益，節(jié)電195.5萬(wàn)度。同時(shí)，該公司也將于年底前再次收到浦東新區(qū)環(huán)保協(xié)會(huì)給予的300萬(wàn)元基金補(bǔ)助，協(xié)助企業(yè)在環(huán)保方面的持續(xù)投入和不斷改進(jìn)。

廢氣處理出強(qiáng)效

日前，中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司PFCs氣體減排項(xiàng)目已正式完成，新裝的65臺(tái)電加熱水洗本地廢氣處理設(shè)備全部投入運(yùn)行。該項(xiàng)目總投資2343萬(wàn)元人民幣，預(yù)計(jì)等效二氧化碳減排將達(dá)到每年4.28萬(wàn)噸。

集成電路制造業(yè)的一大特點(diǎn)是廢氣量大、污染種類(lèi)多。中芯國(guó)際在建廠初期就投入巨資用于廢氣治理設(shè)施，每年持續(xù)投入數(shù)千萬(wàn)元用于廢氣治理運(yùn)營(yíng)。

近兩年，中芯國(guó)際每年投入上千萬(wàn)元用于主動(dòng)減排PFCs氣體，并建立了PFCs氣體減排的專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)。據(jù)悉，PFCs是指全氟碳化物，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，主要在薄膜工序中作為清潔氣體使用和在干法刻蝕工序中作為工藝氣體使用,使用氣體包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、SF6等。這些氣體能破壞地球的臭氧層產(chǎn)生溫室效應(yīng)，減少全氟碳化物（PFCs）排放對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的影響，已受到世界各國(guó)重視。

針對(duì)公司廢氣處理現(xiàn)狀，中芯國(guó)際專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)制定了減排計(jì)劃，并選擇了高效、合理的PFCs氣體處理設(shè)備。在設(shè)備與技術(shù)的雙重革新下，該類(lèi)設(shè)備經(jīng)傅氏轉(zhuǎn)換紅外線光譜分析儀（FTIR）檢測(cè)，平均處理效率超過(guò)96.5%。預(yù)計(jì)今年中芯國(guó)際單位面積PFC排放量為1.86噸CO2e/平方米， PFCs產(chǎn)生的單位面積等效二氧化碳整體削減率達(dá)到32%。

節(jié)能專(zhuān)利獲殊榮

在半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中，制冷機(jī)系統(tǒng)大多采用敞開(kāi)式運(yùn)行，產(chǎn)生了大量的余熱。而由于芯片生產(chǎn)中，又需要用到純水清洗，其中花費(fèi)了大量的蒸汽來(lái)加熱自來(lái)水。一塊“板”解決了這一難題，中芯國(guó)際自主研發(fā)了一套冰機(jī)熱回收系統(tǒng)，在冰機(jī)背后設(shè)置了一塊類(lèi)似于擋熱板的設(shè)置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來(lái)加熱自來(lái)水。

“這套裝置能將自來(lái)水從10℃加熱到22℃，每年可節(jié)省市政蒸汽2.32萬(wàn)噸，折合標(biāo)煤1994噸。”中芯國(guó)際相關(guān)技術(shù)人員透露，該技術(shù)已經(jīng)獲得國(guó)家專(zhuān)利。

記者了解到，中芯國(guó)際已獲得英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)ISO 14001認(rèn)證（一套有關(guān)環(huán)境保護(hù)的非官方國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）。自2010年開(kāi)始，在水資源回收和再利用、廢氣治理、節(jié)電設(shè)計(jì)、廢棄物減量化等清潔生產(chǎn)方面，中芯國(guó)際累計(jì)投入了1833萬(wàn)元，形成了38項(xiàng)方案。

今年8月28日，中芯國(guó)際再次被列入香港恒生可持續(xù)發(fā)展企業(yè)指數(shù)，以表彰其在環(huán)境保護(hù)、社會(huì)責(zé)任和公司治理等方面的表現(xiàn)。9月，中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司榮獲浦東新區(qū)“環(huán)境誠(chéng)信綠色等級(jí)企業(yè)”榮譽(yù)稱(chēng)號(hào)，成為浦東新區(qū)15家獲此殊榮的企業(yè)之一。（責(zé)編：陶?qǐng)A秀）