明年6吋有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)機(jī)臺(tái)量將大幅增長(zhǎng)。發(fā)光二極體(LED)價(jià)格自2011年始走跌，上游LED磊晶廠(chǎng)除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤(rùn)與營(yíng)收下滑頹勢(shì)外，亦已逐步調(diào)高6吋MOCVD機(jī)臺(tái)采用比重，進(jìn)一步降低制造成本、強(qiáng)化價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力。
Laytec業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Thieme表示，現(xiàn)地量測(cè)將有助于調(diào)高LED磊晶良率，借此有效降低LED磊晶的制造成本。
Laytec業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Thieme表示，今年上游LED磊晶供應(yīng)商添購(gòu)MOCVD機(jī)臺(tái)的數(shù)量明顯下滑，且4吋MOCVD機(jī)臺(tái)不再是市場(chǎng)主流，反之6吋MOCVD機(jī)臺(tái)的采購(gòu)比例明顯攀升，顯見(jiàn)LED磊晶廠(chǎng)已面臨極大的成本壓力，因此加緊購(gòu)入大尺寸MOCVD機(jī)臺(tái)，以提高毛利率和營(yíng)收貢獻(xiàn)。
看好6吋MOCVD機(jī)臺(tái)需求看漲，愛(ài)思強(qiáng)(Aixtron)、威科(Veeco)等MOCVD設(shè)備商早已展開(kāi)6吋產(chǎn)品線(xiàn)部署；另一方面，MOCVD光學(xué)量測(cè)廠(chǎng)商如Laytec等，亦快馬加鞭布局先進(jìn)的現(xiàn)地量測(cè)(In-Situ Metrology)技術(shù)，以提高LED磊晶廠(chǎng)的生產(chǎn)良率，達(dá)成調(diào)降制造成本的目的。
Thieme指出，2013年6吋MOCVD機(jī)臺(tái)的市場(chǎng)滲透率將會(huì)急速擴(kuò)大，對(duì)于量測(cè)MOCVD反應(yīng)爐內(nèi)晶圓溫度的高溫計(jì)(Pyrometer)儀器，Laytec已開(kāi)發(fā)出安裝到反應(yīng)爐中的現(xiàn)地量測(cè)儀器，可以確保晶圓的平整度(Flatness)，以提高良率。
Thieme進(jìn)一步透露，目前Laytec針對(duì)6吋MOCVD機(jī)臺(tái)開(kāi)發(fā)的現(xiàn)地量測(cè)儀器，讓LED波長(zhǎng)的一致性可達(dá)±3奈米(nm)，該公司計(jì)畫(huà)至2015年達(dá)±1奈米的目標(biāo)，可望助力LED磊晶廠(chǎng)加快提升良率，以縮減成本。