“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。
“十一五”期間，該專項重點針對65—45納米技術(shù)代進(jìn)行系統(tǒng)性布局，取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機”，和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機”，目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進(jìn)行考核，指標(biāo)達(dá)到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導(dǎo)體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機”向臺灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進(jìn)投影式光刻機，已經(jīng)成功進(jìn)入江陰長電的先進(jìn)封裝生產(chǎn)線，實現(xiàn)了我國光刻機產(chǎn)品的重大突破。
IC裝備專項在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實現(xiàn)量產(chǎn)，45nm工藝正在做量產(chǎn)準(zhǔn)備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項研制的部件和材料產(chǎn)品實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。

國家對IC裝備專項相當(dāng)重視，相關(guān)產(chǎn)業(yè)也得到了極大發(fā)展。目前，共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項，其中中高級研發(fā)人員占52%。專項還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗和國際化市場運作能力的海外留學(xué)歸國人員和團(tuán)隊參與。其中，通過“千人計劃”引進(jìn)22位海外高層次人才，極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。
此外，在“十一五”啟動的58個項目中，企業(yè)牽頭項目40個，占到總數(shù)的69%，體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計申請專利4248項，其中發(fā)明專利3667項，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項。
IC裝備專項還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動作用。由于基本工藝原理相似，IC制造技術(shù)還輻射帶動了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對于我國推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，具有重要的促進(jìn)作用。（責(zé)編：葉松柏）