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[導讀]GT Advanced Technologies Inc.日前公布了案例研究產量問題:藍寶石材料質量對LED晶圓工藝的影響。該報告詳述了一項盲型材料研究的發(fā)現,這項研究針對藍寶石材料質量對高亮度LED即用型外延晶圓制造工藝的影響進行了調

GT Advanced Technologies Inc.日前公布了案例研究產量問題:藍寶石材料質量對LED晶圓工藝的影響。該報告詳述了一項盲型材料研究的發(fā)現,這項研究針對藍寶石材料質量對高亮度LED即用型外延晶圓制造工藝的影響進行了調查。該研究表明,藍寶石材料質量對LED晶圓產量有直接的影響,在接受測試的四家材料提供商中,GT高級藍寶石熔爐(ASFTM)藍寶石生長材料能夠實現最高的晶圓產量。
藍寶石材料和設備部門副總裁兼總經理Cheryl Diuguid說:GT為LED行業(yè)提供藍寶石已超過12年時間。我們啟動這項評估項目是為了驗證我們從材料客戶那里聽到的積極反饋--ASF藍寶石生長材料擁有卓越質量以及能夠對晶圓產量產生有利影響。晶圓產量對于晶圓制造商而言尤為重要,因為這對他們的經濟產生了直接影響。數據表明,不同的藍寶石材料來源能夠使晶圓產量產生差異,而GT的ASF材料表現最好。
這項研究對來自GT ASF和其他三家藍寶石提供商的25件核心樣品進行了評估。為了獲得公正的數據,GT與一家獨立的領先晶圓制造商進行了合作,提供了盲型、沒有標志的材料來源。采集的重要晶圓參數(能夠影響產量和成本)數據包括晶圓幾何參數(表面粗糙度、總厚度變動、彎曲度和弧度)以及晶圓報廢率。
這份晶圓分析報告是由GT發(fā)起的一項更廣泛的材料特性項目的一部分,該項目旨在研究藍寶石材料特性對高亮度LED價值鏈的整個制造工藝的影響。
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